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超纯水系统施工工艺

2024-05-23

超纯水系统施工工艺

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超纯水系统工艺及其施工 半 导体技术天地 i i \'m$t g v(I . 半导体技术天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超纯水系统总体介绍 半导体 ,芯片 ,集成电路 ,设计 ,版图 ,晶圆 ,制造 ,工艺 ,制程 ,封装 ,测 试 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 随着电子工业的发展,在芯片的生产加工过程中,对于水质的要求也越来越高。为了保 证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,高纯水也是 其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒 度都有很高要求的超纯水。 超纯水系统总体来说一

9超纯水系统工程方案
9超纯水系统工程方案

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超纯水系统1 超纯水系统 设 计 方 案 目录 一、设计条件及出水水质3 超纯水系统2 二、设计基本资料4 三、主要组件设备说明5 四、工艺方案流程及说明11 五、调试及售后服务内容12 一、设计条件及出水水质 1.1进水主要水质指标:东莞市自来水 1.2用户对出水要求: 出水量:超纯水9吨/小时 出水水质:主机系统超纯水:电阻率≥18mω.㎝@25℃; 出水温度:常温。 1.3水质检测:随机自带有电导率仪,出水电导率在线显示。 超纯水系统3 1.4设备最终产

超纯水系统技术方案
超纯水系统技术方案

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1 方 案 书 目录 企业简介.................................................... 业务范围.................................................... 设计总则.................................................... 第一章项目概况............................................... 第二章技术规范要求........................................... 第三章工艺系统说明........................................... 第四章设备技术参数及详细清单........

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电子超纯水系统工程案例

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电子超纯水系统工程案例 4.8

电子超纯水系统工程案例

电子超纯水系统工程案例 1.设计条件及出水水质 1.1进水主要水质指标:成都市自来水 1.2用户对出水要求: 出水量:超纯水0.5吨/小时 出水压力:2公斤; 出水水质:主机系统超纯水:电阻率≥18mω.㎝@25℃; 出水温度:常温。 1.3水质检测:随机自带有电导率仪,出水电导率在线显示。 1.4设备最终产水量:纯水0.5吨/小时@25℃;超纯水0.5吨/小时@25℃; 1.5系统总进水量:1.2m3/h; 1.6一级反渗透的回收率≥50%; 1.7二级反渗透的回收率≥45%; 1.8第一级反渗透的浓水排放回收另作它用,我方可将浓水接至贵方要求的回收容器;第二级反渗透的浓水 全部回流至一级反渗透前,流量约为0.18t/h; 1.9cedi装置回收率:85~95%,回流流量约0.03m3/h;另一部分浓水排放回收作它用。 1.10控制方

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纯水系统施工工艺p

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纯水系统施工工艺p 4.8

纯水系统施工工艺p

page1of19 纯水系统施工工艺 3纯水系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 3.1总则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.2材料和管道表面处理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.3纯水储罐的标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.4材料情况的追踪⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.5工场的条件状况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.6焊接方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.7储罐的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5 3.8管道的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

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医药生物行业用超纯水系统,水处理设备MOLPW

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医药生物行业用超纯水系统,水处理设备MOLPW 4.6

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超纯水系统多介质过滤器手动操作说明

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超纯水系统多介质过滤器手动操作说明 4.6

超纯水系统多介质过滤器手动操作说明

超纯水系统多介质过滤器手动操作说明 手动操作时,设备运行时间以运行状态表中为准。 警告:1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够,否则阀门未开启而 水泵启动,会造成严重后果! 2、启动泵前,必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态,否则容易 发生憋压或串水。 3、通水时,必须先开阀门再启动泵;断水时,先停止泵再关闭阀门。 项次动作操作说明 1手动采水 1.将控制柜上多介质过滤器旋钮开关旋转到手动状态。 2.打开v1,v2号阀(气源满足时,可在设备控制箱内通过手动 操作对应之电磁阀来实现v1,v2号阀的开启;气源不满足时, 则需要用扳手强行拧开v1,v2号阀。) 3.手动操作开启原水送水泵(将原水送水泵旋钮开关置于手动位 置,按下启动按钮,泵即启动。注意:多介质过滤器和活性炭 过滤器必须一起运行,否则管道憋压。) 2手动逆洗 1.按下原水泵停止按钮,泵即停止。

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纯水系统施工规范

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纯水系统施工规范 4.4

纯水系统施工规范

luwa page1of19 3.纯水系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 3.1总则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.2材料和管道表面处理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.3纯水储罐的标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.4材料情况的追踪⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.5工场的条件状况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.6焊接方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.7储罐的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5 3.8管道的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

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纯水系统阀门

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纯水系统阀门 4.6

纯水系统阀门

纯水系统阀门

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纯水系统工艺流程精简图

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纯水系统工艺流程精简图 4.8

纯水系统工艺流程精简图

纯水系统工艺流程简图 smb系统 超纯水增压泵 去105用 氮封水箱edi膜堆 回 清 洗 水 箱 氮 气 smb 回 微 滤 ro2水箱ro2系统 回 原 水 箱 edi增压泵 回 ro1 水 箱 ro 加 药 二级高压泵 盘式过滤 器 超滤器 清 洗 进 水 反 洗 进 水 反 洗 排 水 清 洗 回 水 原水箱 ro2浓水 ro1/ro2开机回水 原水阻 垢 剂 还 原 剂 原水泵 板式换热器 清 洗 排 水 压 缩 空 气 去 ro1 水 箱 简图 加 药 清浚入口一级高压泵 超滤反洗入口 膜 滤 器 去103用水点 去106用水点 105用水点 ro1水箱ro1系统 回 原 水 箱 清 洗 回 水 加 药 补 水 edi回流 高压泵 超滤水箱 超滤反洗泵 清 洗 回 水 排 放

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精华文档 超纯水系统施工工艺

制药企业纯水系统施工规范

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制药企业纯水系统施工规范 4.5

制药企业纯水系统施工规范

纯水系统施工规范 page1of19 3.纯水系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 3.1总则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.2材料和管道表面处理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.3纯水储罐的标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.4材料情况的追踪⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.5工场的条件状况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.6焊接方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.7储罐的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5 3.8管道的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

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纯水系统充填滤材施工规范

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纯水系统充填滤材施工规范 4.5

纯水系统充填滤材施工规范

doc.no.:11910version:0page:0of11 title:纯水系统充填滤材施工规范 纯水系统充填滤材施工规范 11910-纯水系统充填滤材施工规范.01/11 section11910 纯水系统充填滤材施工规范 1.0适用范围:本程序适用于多层过滤器(mmf)及活性碳塔(acf)等装置之滤料充填作业。 2.0工具准备: a.施工架。 b.吊挂工具。 c.活动扳手。 d.卷尺。 e.塑料布 f.照明设备。 g.t型耙具。 h.sdi测定仪。 i.含氧量分析仪。 3.0槽体检查: a.确认塔内部零件(集、散水器)安装正常。 b.确认塔内部没有异物。 c.确认塔内、外部各配管之连接是否正确。 4.0注水及耐压测试: 测试塔体及相关配管是否会漏水。 5.0充填滤料:(参考用,实际规格由系统功能计算书提供)

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纯水系统招标文件(技术文件)

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纯水系统招标文件(技术文件) 3

纯水系统招标文件(技术文件)

纯水系统招标文件(技术文件)——纯水系统招标文件,word文档,共91页。  纯水系统的招标文件。包含组织工艺,技术文件,可供参考。    投标总要求  1.1本技术规范书适用于xxxx60吨/小时超纯水工程,此工程为交钥匙工程,除土建、暖通、照明、保温...

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纯水系统常用管材

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纯水系统常用管材 4.5

纯水系统常用管材

纯水系统常用管材

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二级RO+CDI+抛光混床技术在半导体封装产线超纯水系统中的工程设计及应用

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二级RO+CDI+抛光混床技术在半导体封装产线超纯水系统中的工程设计及应用 4.6

二级RO+CDI+抛光混床技术在半导体封装产线超纯水系统中的工程设计及应用 二级RO+CDI+抛光混床技术在半导体封装产线超纯水系统中的工程设计及应用 二级RO+CDI+抛光混床技术在半导体封装产线超纯水系统中的工程设计及应用

文章介绍了无锡某半导体工厂后段封装产线超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统采用了二级ro+cdi+抛光混床技术,确保产水水质达到生产线使用要求,其中电阻率16mω.㎝以上。系统运行自动化程度高,稳定性好,化学品消耗量少,操作简便,运行费用低。

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最新文档 超纯水系统施工工艺

洁净厂房超纯水配管施工工艺

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洁净厂房超纯水配管施工工艺 4.5

洁净厂房超纯水配管施工工艺

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医药反渗透纯水系统方案说明

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医药反渗透纯水系统方案说明 4.6

医药反渗透纯水系统方案说明

沈阳莱特莱德科技有限公司 技术支持:18904059090www.***.*** 医药反渗透纯水系统方案说明 作者:苏晓潘主页:纯水机之家 源水水源:自来水(溶解性固体总含量:tds=550ppm) 成品水质:电导率:1~5μs/cm 产水量:125升/小时 医疗-制药用双级反渗透主要特点: 1、医疗-制药用双级反渗透系统采用机柜式设备,结构紧凑,外形美观,操作方便; 2、医疗-制药用双级反渗透出水水质在线监测,数字人显示准确直观,符合各种用水规范; 3、单片机全自动控制,停水、停电、满水自动停机并自动保护; 4、双级反渗透系统水回收率大,可达75%以上; 5、双级反渗透采用人性化设计,操作维护更方便。 医疗-制药用双级反渗透运用的其他行业: 1、实验室双级反渗透系统 化学分析、环境分析、检测分析、医学实验等实验室涉及的所有项目的分

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反渗透纯水系统操作规程

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反渗透纯水系统操作规程 4.3

反渗透纯水系统操作规程

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置, 在线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构,有效节约空间;反渗透膜和主要部件为进口 优质产品;安全的保护报警系统;高度的自动化设计可实现无人操作; 同时还具备手动操作功能;完善的预处理系统,延长膜使用寿命。 出水产量稳定,出水标准高:完全符合国家生活饮用水标准 (gb5749-85)及国家瓶装饮用水卫生标准(gb17324-1999和 gb17323-1999)。 操作规程 1、启动自动运行 1)、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时电 控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态,观察电压表示数是否 正确(≈

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反渗透纯水系统操作规程-推荐下载

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反渗透纯水系统操作规程-推荐下载 4.5

反渗透纯水系统操作规程-推荐下载

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置,在 线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构,有效节约空间;反渗透膜和主要部件为进 口优质产品;安全的保护报警系统;高度的自动化设计可实现无人 操作;同时还具备手动操作功能;完善的预处理系统,延长膜使用 寿命。 出水产量稳定,出水标准高:完全符合国家生活饮用水标准 (gb5749-85)及国家瓶装饮用水卫生标准(gb17324-1999和 gb17323-1999)。 操作规程 1、启动自动运行 1)、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时 电控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态,观察电压表示数 是否正确(≈380v)

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电力锅炉补给水系统超纯水设备方案

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电力锅炉补给水系统超纯水设备方案 4.3

电力锅炉补给水系统超纯水设备方案

电力锅炉补给水系统超纯水设备方案 一、电力锅炉补给水系统超纯水概述 长期的锅炉运行实践表明:锅炉的给水水质,是影响锅炉及热力系统安全、 稳定、经济运行的重要因素之一。没有经过净化处理的水中含有许多杂质,特别 是钙镁离子,这些杂质如果随给水进入锅炉系统,将会造成极大危害。 1、形成水垢,导致锅炉受热不均匀,损坏金属; 2、降低热效率,增加能耗; 3、清洗水垢需加药剂,增加运行成本; 4、导致金属腐蚀; 5、易使蒸汽品质恶化。 电力、热力行业的大中型锅炉,由于运行参数高,原用锅炉爆管等原因停机 造成的经济损失惨重,社会影响巨大,因此对锅炉补给水的水质要求特别高(电 厂锅炉要求水质,电阻率>5mω.cm、sio2<20μg/l)。一般的电厂、热力中心均 设立化水车间,对锅炉补给水进行处理。 燃煤火力发电厂是我国电力工业的重要组成部分。水在电力工业中的用途是 多方面

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精编反渗透纯水系统操作规程资料

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精编反渗透纯水系统操作规程资料 4.4

精编反渗透纯水系统操作规程资料

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置, 在线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构,有效节约空间;反渗透膜和主要部件为进口 优质产品;安全的保护报警系统;高度的自动化设计可实现无人操作; 同时还具备手动操作功能;完善的预处理系统,延长膜使用寿命。 出水产量稳定,出水标准高:完全符合国家生活饮用水标准 (gb5749-85)及国家瓶装饮用水卫生标准(gb17324-1999和 gb17323-1999)。 操作规程 1、启动自动运行 1)、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时电 控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态,观察电压表示数是否 正确(≈

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新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养服务招标要求

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新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养服务招标要求 4.7

新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养服务招标要求

1/4 新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养服务招标要求 一、招标项目名称:南方科技大学医院新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养 服务 预算:¥万元 二、服务要求: (一)设备概况: 一套纯水预处理;纯水主机三套; 直饮水机主机两套;检验科双核超纯水主机一套。 (二)设备终端数量及耗材清单: 序号名称规格数量更换周期 直饮水系统 棉芯μ×″支个月 折叠式滤芯μ×″支个月 石英砂 石英砂 石英砂 活性炭吸附碘值大于 阳树脂 反渗透膜支 杀菌器灯管支 纯水系统 棉芯μ×″支个月 折叠式滤芯μ×″支个月 石英砂 石英砂 石英砂 活性炭吸附碘值大于 阳树脂 反渗透膜支 杀菌器灯管支 超纯水系统 2/4 折叠式滤芯μ×″支个月 电子级树脂φ×套 反渗透膜支 装置套 杀菌器灯管支 直饮水终端机 壁挂式饮水机清清牌台 立式饮水机

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热塑性塑料管在高纯水系统中的应用

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热塑性塑料管在高纯水系统中的应用 4.5

热塑性塑料管在高纯水系统中的应用 热塑性塑料管在高纯水系统中的应用 热塑性塑料管在高纯水系统中的应用

本文简要介绍了高纯水的水质要求,高纯水系统常用的塑料管材,管道对高纯水水质的影响及其测定方法。

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水系统施工工艺 (2)

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水系统施工工艺 (2) 4.7

水系统施工工艺 (2)

预留孔洞物料的进场检验 水系统施工工艺 4.1.空调水管道安装 1、工艺流程 2、管材材质要求 (1)严格按照本招标文件说明书要求的材质和规格进行材料的选 厂、报批及订货。 (2)各种管材、型钢及各种阀部件在进场后认真检查,必须符合 国家或部颁标准,有质量、技术要求并有产品合格证。 (3)所有钢管在使用前应做外观检查,有缺陷的钢管不允许使用, 管壁厚度偏差应满足规范要求。 (4)钢管在安装前,管壁内、外表面应仔细清理,除去铁锈、渣 质和污物,呈现金属光泽,再按设计及规范要求做防腐处理。 3、预留孔洞及预埋铁件 (1)在结构施工阶段配合土建单位搞好设备吊运孔洞的预留工 作;管路安装孔洞的预留及预埋件设置工作亦应细致配合土建单位进 行。 (2)凡属预制墙板、楼板需要剔孔洞,必须在装修或抹灰前剔凿; 遇有剔混凝土空心楼板或断钢筋,必须先征得有关部门的同意及采取 相应补救措施后,方可剔凿

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水系统施工工艺

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水系统施工工艺 4.8

水系统施工工艺

预留孔洞物料的进场检验 水系统施工工艺 4.1.空调水管道安装 1、工艺流程 2、管材材质要求 (1)严格按照本招标文件说明书要求的材质和规格进行材料的选 厂、报批及订货。 (2)各种管材、型钢及各种阀部件在进场后认真检查,必须符合 国家或部颁标准,有质量、技术要求并有产品合格证。 (3)所有钢管在使用前应做外观检查,有缺陷的钢管不允许使用, 管壁厚度偏差应满足规范要求。 (4)钢管在安装前,管壁内、外表面应仔细清理,除去铁锈、渣 质和污物,呈现金属光泽,再按设计及规范要求做防腐处理。 3、预留孔洞及预埋铁件 (1)在结构施工阶段配合土建单位搞好设备吊运孔洞的预留工 作;管路安装孔洞的预留及预埋件设置工作亦应细致配合土建单位进 行。 (2)凡属预制墙板、楼板需要剔孔洞,必须在装修或抹灰前剔凿; 遇有剔混凝土空心楼板或断钢筋,必须先征得有关部门的同意及采取 相应补救措施后,方可剔凿

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阳斌

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超纯水系统施工工艺文辑: 是阳斌根据数聚超市为大家精心整理的相关超纯水系统施工工艺资料、文献、知识、教程及精品数据等,方便大家下载及在线阅读。同时,造价通平台还为您提供材价查询、测算、询价、云造价、私有云高端定制等建设领域优质服务。PC版访问: 超纯水系统施工工艺
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