反应溅射镀膜玻璃膜层均匀度调整

　第31卷第4期 　2008年4月 合肥工业大学学报(自然科学版) journalofhefeiuniversityoftechnology vol.31no.4　 apr.2008　 　　 收稿日期:2007203213;修改日期:2007204220 作者简介:龚建华(1945-),男,黑龙江富锦人,合肥工业大学教授,硕士生导师. 镀膜玻璃膜层的针孔和结合力 龚建华,　杨有财,　张永胜 (合肥工业大学机械与汽车工程学院,安徽合肥　230009) 摘　要:真空镀膜是材料表面改性的一个重要方面,目前已形成了一个巨大的产业,因此其质量的监控显得尤 为重要。真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等方面。而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅射方法 大面积沉积的膜层,针孔和结合力

真空镀膜是材料表面改性的一个重要方面,目前已形成了一个巨大的产业,因此其质量的监控显得尤为重要。真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等方面。而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅射方法大面积沉积的膜层,针孔和结合力是一个令人关注的问题。文章针对针孔出现的机理,较详细地讨论了消除或减少针孔的有效方法;分析了影响膜层结合力的各种因素,指出了入射粒子能量和基体作用力的性质是影响膜层结合力的重要因素,同时,膜层与界面的形态也强烈地影响到结合力的强弱。据此,从工艺和膜层结构方面提出了增强膜层结合力的方法和措施。

精品文档 精品文档 镀膜玻璃 镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改 变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃 （low-e）、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、 钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有 适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称 为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由多层 银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率，对 红外线有很高的反射率，具有良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交 通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表 面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以

1、热反射镀膜玻璃 （1）什么是可见光透过率、反射率？ 在可见光谱范围（380纳米至780纳米）内，透过玻璃光强度的百分比 为可见光透过率，而被玻璃反射光强度的百分比为可见光反射率。 （2）什么是太阳能透过率、反射率？ 在太阳能光谱范围（300纳米至2500纳米）内，紫外线、可见光和红 外光透过玻璃的百分比为太阳能透过率，而紫外光、可见光和红外光被玻璃反 射的百分比为太阳能反射率。 （3）什么是ashrae标准？ ashrae是英文americansocietyofheating，refrigeratingand air-conditioningengineers的缩写，即美国采暖制冷空调工程师协会。 （4）什么是u值？ ashrae标准条件下，由于玻璃的热传递和室内外的温差，所形成的空气 到空气的传热量，u值越低，透过玻璃的传热量越低。公

镀膜玻璃 概述 镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改 变玻璃的光学性能，满足某种特定要求的玻璃制品。 分类 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃；低辐射玻璃 (low-e)；导电膜玻璃等。 1．热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属 或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对 红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃， 主要用于建筑和玻璃幕墙； 2．低辐射玻璃(low-e)是在玻璃表面镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物 组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有 良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差， 一般都制成中空玻璃使用； 3．导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻

[19]中华人民共和国国家知识产权局 [12]发明专利申请公布说明书 e43]公开日2007年4月25日 [21]申请号2006lol35230．4 [51]int．c1． c03c17／23q006．01) [11]公开号cn1951850a e54．]发明名称 防紫外线镀膜玻璃及其制造方法 e57]摘要 本发明公开了一种防紫外线镀膜玻璃及其制造 方法，所述玻璃包括至少两层，玻璃板和防紫外线 膜层。玻璃板由硅一钠一钙玻璃组成，防紫外线膜 层由：fe()；或者具有掺杂物的fe()。组成；也可由rrio： 和ceo：或者具有掺杂物的tio：和

镀膜玻璃-镀膜玻璃的概念 镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层 或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特 镀膜玻璃-镀膜玻璃的分类 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃（low-e）、导电膜玻璃 等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄 膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有 较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面 镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率，对红外线 有很高的反射率，具有良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度 较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可

镀膜玻璃第2部分低辐射镀膜玻璃

low-e的反射颜色为紫色。 low-e玻璃 low-e玻璃又称低辐射玻璃，在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系 产品。其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性: 优异的热性能 普通浮法玻璃的辐射率高达0.84，当镀上一层以银为基础的低辐射薄膜后，其辐 射率可降至0.1以下。 如果使用low-e玻璃，由于热损失的降低，可大幅减少因采暖所消耗的燃料，从 而减少有害气体的排放。 良好的光学性能 low-e玻璃对太阳光中可见光有高的透射比，可达80%以上，而反射比则很低， 这使其与传统的镀膜玻璃相比，光学性能大为改观。从室外观看，外观更透明、 清晰，保证了建筑物良好的采光，又避免了以往大面积玻璃幕墙、中空玻璃门窗 光反射所造成的光污染现象。 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类： 热反射玻璃、低辐射玻璃（low-e）、导电膜玻璃等。 热

low-e的反射颜色为紫色。 low-e玻璃 low-e玻璃又称低辐射玻璃，在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系 产品。其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性: 优异的热性能 普通浮法玻璃的辐射率高达，当镀上一层以银为基础的低辐射薄膜后，其辐射率 可降至以下。 如果使用low-e玻璃，由于热损失的降低，可大幅减少因采暖所消耗的燃料，从 而减少有害气体的排放。 良好的光学性能 low-e玻璃对太阳光中可见光有高的透射比，可达80%以上，而反射比则很低， 这使其与传统的镀膜玻璃相比，光学性能大为改观。从室外观看，外观更透明、 清晰，保证了建筑物良好的采光，又避免了以往大面积玻璃幕墙、中空玻璃门窗 光反射所造成的光污染现象。 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类： 热反射玻璃、低辐射玻璃（low-e）、导电膜玻璃等。 热反射玻璃一般是在玻璃表面

准确测量多角度下镀膜玻璃反射色,是镀膜玻璃质控提出的新要求。本文比较了不同入射角度下使用分光光度计测得的反射光谱曲线与使用tfcalc软件计算的玻面理论反射光谱曲线,发现随着入射角度增加,分光光度计检测器接收的光信号由玻璃的多次反射光逐渐转变为仅有第一次反射光,导致测量光谱与人眼接收的实际光谱不符,给颜色计算带来偏差。利用椭偏仪分别测量了玻璃第一、二次反射对应的反射光谱曲线,提出将第一、二次反射光谱曲线对应做和后进行颜色计算的新方法。

low-e的反射颜色为紫色。 low-e玻璃 low-e玻璃又称低辐射玻璃，在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系 产品。其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性: 优异的热性能 普通浮法玻璃的辐射率高达0.84，当镀上一层以银为基础的低辐射薄膜后，其辐 射率可降至0.1以下。 如果使用low-e玻璃，由于热损失的降低，可大幅减少因采暖所消耗的燃料，从 而减少有害气体的排放。 良好的光学性能 low-e玻璃对太阳光中可见光有高的透射比，可达80%以上，而反射比则很低， 这使其与传统的镀膜玻璃相比，光学性能大为改观。从室外观看，外观更透明、 清晰，保证了建筑物良好的采光，又避免了以往大面积玻璃幕墙、中空玻璃门窗 光反射所造成的光污染现象。 镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类： 热反射玻璃、低辐射玻璃（low-e）、

减反膜镀膜玻璃介绍

镀膜玻璃及其膜面判别方法 镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物 薄膜，以改变玻璃的光学性能、满足某种特定需求。镀膜玻璃可分为 热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃、自洁玻璃等，按工艺过程不 同又分为在线镀膜和离线镀膜。在线镀膜是指镀膜过程在浮法线上进 行，离线镀膜则是在平板玻璃出厂后再进行镀膜加工。离线镀膜对玻 璃原片的新鲜程度和表面质量、清洁度要求非常严格，一般在原片生 产后短时间内必须完成镀膜工序，否则镀膜质量会大大降低。镀膜玻 璃的表面缺陷，一般用肉眼可以看出，如膜层表面有气泡、条纹、斑 点、光点、划伤和腐蚀痕。购进镀膜原片前，要深入了解厂家的质量 控制水平；进仓检验时，须重点对生产日期、合格证及技术证件进行 验证。 镀膜玻璃在深加工时的膜面放置方向会直接影响产品质量的优劣，在 此涉及到一个膜面判别问题。膜面判别方法有如下几种： 一、仪器检测法。

玻璃贴膜与镀膜玻璃的对比 一些公共建筑门窗面积占建筑面积比例超过20%，而透过门窗的能耗约占整个建筑的50%。 通过玻璃的能量损失约占门窗能耗的75%，占窗户面积80%左右的玻璃能耗占第一位。 建筑节能改造的重点是公共建筑，门窗及幕墙改造是建筑节能的关键，而其中的玻璃改 造则是节能工作的重中之重。对既有建筑中的玻璃节能改造的办法只有二种选择：一是砸烂原 有的玻璃换上节能玻璃，二是给原有玻璃贴上建筑用的隔热安全膜。 节能玻璃的种类和功能 1、镀膜玻璃：镀膜玻璃是在玻璃表面镀一层或多层金属，合金或金属化合物，以改变玻璃的性 能。按特性不同可分为热反射玻璃和低辐射玻璃。 热反射（阳光控制）玻璃，一般是在玻璃表面镀一层或多层如铬，钛或不锈钢等金属或其化合物 组成的薄膜，使产品呈丰富颜色，对可见光有适当的透射率，对近红外线有较高的反射率，对紫 外线有很低的透过率，因此，也称为阳光控

通过对热反射玻璃膜层均匀度的研究，找出了影响膜层均匀度的主要原因及其解决方法。

本文从作者的实践工作经验出发,总结了针对磁控溅射镀膜玻璃生产线进口备件国产化的相关工作。

关于玻璃产品的相关说明—普通着色玻璃、 low-e玻璃（在线高温热解沉积法、离线真空溅射法） 一、一般了解： 1、着色玻璃加工工艺就是在浮法加工中玻璃原料加入离子以显 颜色,之所以有颜色其实就是他对可见光谱选择性透过不透过的被反射后就 出现颜色了。 2、low-e玻璃，即低辐射镀膜玻璃。这种玻璃的最大特点是能强烈反 射远红外线，可以很好阻挡三种传热方式中的辐射传热，所以有比普通玻 璃更好的隔热性能。 3、low-e玻璃较普通及传统镀膜玻璃具有以下明显优势： 1）优异的热性能：外门窗玻璃的热损失是建筑物能耗的主要部分，占建 筑物能耗的50%以上。有关研究资料表明，玻璃内表面的传热以辐射为主， 占58%，这意味着要从改变玻璃的性能来减少热能的损失，最有效的方法 是抑制其内表面的辐射。普通浮法玻璃的辐射率高达0.84，当镀上一层以银 为基础的低辐射薄膜后，其辐射率可降至

-1- 常规镀膜玻璃的节能特性和参数 一、概述 现代建筑，不论是商厦还是住宅，都趋向于大面积采光。但是，普通透明玻璃 对太阳能辐射和远红外热辐射没有控制，其面积越大，夏季进入室内的热量越多， 冬季室内散失的热量越多。为此，必须对玻璃表面进行处理，于是产生了有节能功 能的镀膜玻璃。 早期的镀膜玻璃主要是热反射镀膜玻璃（或称阳光控制膜玻璃），其作用是限 制太阳能辐射直接进入室内。用于建筑幕墙玻璃时，除具有亮丽的外观装饰效果外， 还可降低冷气设备的运行费用。但这种玻璃与普通玻璃一样，会吸收远红外热辐射 而使其自身的温度升高，最终仍有相当部分的热能透过了玻璃，其隔热性能也受到 了极大的限制。 选用什么材料？采用何种工艺镀膜才能有效地阻挡远红外热辐射？研究的结 果诞生了低辐射镀膜玻璃（简称low-e玻璃）。这种玻璃的最大特点是将远红外热 辐射反射出去，使其不能透过玻璃从而起到节能隔

高透光镀膜玻璃

文件编号： 第1页共3页 编制：文件版本： 批准：实施日期： 内控标准 镀膜玻璃内控标准 1.适用范围 本标准适用于本公司镀膜玻璃检验、判定 2.引用文件 gb/t18915.1/2-2002镀膜玻璃 gb11614浮法玻璃 3.分类及应用 3.1按镀膜玻璃对太阳光的控制区域的不同分类：热反射镀膜玻璃、低辐射镀膜玻璃 3.2按热加工性能可分为：非钢化镀膜玻璃、钢化镀膜玻璃、可钢化镀膜玻璃 4.术语及定义 4.1热反射镀膜玻璃：又称阳光控制膜镀膜玻璃，对波长范围350nm~1800nm的太阳光具有一 定控制作用，一般是金属或非金属氧化物或氮化物膜层构成 4.2低辐射镀膜玻璃：又称low-e玻璃，是一种对波长范围4.5μm~25μm的远红外线有较高 反射比的镀膜玻璃 4.3脱膜：从镀膜玻璃透射方向看,相对膜层整体可视透明部分或全部没有附着膜层的缺陷 4.

镀膜玻璃常见质量问题 一、划伤或擦伤 定义和说明：镀膜玻璃表面和其它较硬的物质相对滑动或磨擦造成的线状或带状的伤痕为划伤或擦伤，主要表现 为划伤或擦伤部位的玻璃透光率增高，或膜面脱落透亮。其形态多为不规则的弧形细条状或带状。 产生原因：划伤或擦伤往往是在施工安装使用中产生的，主要有： 1、生产方面：由于设备或后清洗的原因，在生产中是存在玻璃划伤可能性的，但这种划伤一般为规则的和直线型 的，是能控制和检验出来的。另外，生产过程中对镀膜玻璃的搬运、装箱也是有可能造成划伤的，原片本身也可能存 在划伤。但客观的说，大片镀膜玻璃因是直接在线用装片机装片，一般是不可能造成划伤的，而强化镀膜玻璃因也是 直接贴膜后装箱，膜面一般不会接触其它硬物，所以通常也是不会出现划伤或擦伤的。 2、切割原因：比如切割尺或卷尺在玻璃膜面的拖动；因玻璃膜面上有砂粒或玻璃屑等，擦拭过程中造成的玻璃膜 面的擦伤；镀膜面朝下切割