高深宽比微细槽的电火花加工工艺

基于LIGA技术的微细电火花加工技术

微细电火花加工技术的进展

微细电火花加工技术 (2)

微机械和微制造的基础——微细电火花加 工技术 摘要：作为一种实用的微细加工技术，微细电火花加工在加工微细轴、微 小孔等小尺度的零件时具有独特的优越性。本文简略地介绍了微细电火花加工技 术的原理，分析了微细电火花加工的特点和优点，研究了微细电火花加工的关键 技术，并详细介绍了一种微细电火花加工装置及其应用。 关键词：微细电火花加工原理特点关键技术装置应用 0.引言 微细加工技术是先进制造技术的重要组成部分，是实现微机械产品的最基本 技术，不仅直接影响着尖端技术和国防工业的发展，而且还影响到机械产品的加 工精度和加工表面质量，影响产品的国际竞争力。目前，世界各国都非常重视微 细加工技术，将其作为发展先进制造技术中的优先发展内容。作为微细加工技术 的一个重要分支，微细电火花加工技术因其具有设备简单、可控性好、无切削力、 适用性强等一系列优点，在微小尺度零件的加工

http://www.***.*** -1- 微细电火花加工技术 余祖元，郭东明，贾振元 大连理工大学机械工程学院，辽宁大连（116024） e-mail:zyu@dlut.edu.cn 摘要：微细电火花加工（microelectricaldischargemachining,microedm）作为微细加工 技术的一种，可以在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三维型腔，以满足日益增长 的产品微小型化需求。针对微细电火花加工中的一些关键问题，如微细电极损耗与补偿、大 深径比微孔加工，本文着重介绍部分研究结果，以期在微细电火花加工技术的应用中，提供 解决对策。 关键词：微细电火花加工;工具损耗补;cad/cam;大深径比微孔;电极摇动 中图分类号：th16文献标识码：a 0.引言 产品的小型化和微型化已经成为发展

微型模具的微细电火花加工技术 随着纳米技术的进步，产品不断向微型化方向发展，特征尺寸为微米级的微机电系统越来 越受到人们的高度重视。 微机电系统（mems，micro-electro-machanicalsystems）包括微型机构、微型传感器、 微型执行器和相应的处理电路等几部分，mems已相继应用于精密机械、光电通讯、影像 传输、生化医疗和信息储存等领域，如微齿轮、插头式光纤连接器、医学用微量泵、导光 板、微透镜、内窥镜零件、微流控芯片、细胞培养用微型容器，以及旋转传感器中的衍射 光栅等都需要微型模具。国际mems市场近年来获得迅速发展，中国的mems市场增速 也将加快，据有关资料预测，至2011年我国mems的增速有望达到29.2%。 所谓微型模具，如果从尺寸和制造精度上加以限定，则微型模具具有以下特征：成形制件 尺寸微小，一般来说体积为1mm

微细电火花加工技术与发展趋势 于同敏黄晓超 (大连理工大学机械工程学院模具研究所大连116023) 摘要：本文简要的介绍了微型制件及微型模具的定义和分类，并着重介绍了应用于微型模具型腔加工的微 细加工技术—微细电火花加工。总结了微细电火花的发展趋势和关键技术。 关键词：微注塑模具微细电火花关键技术 technologyofmicroelectricaldischargemachining anditsdevelopmenttrend yutongminhuangxiaochao (instituteofdieandmouldofschoolofmechanicalengineeringofdalianuniversityof technology,dalian116023) abstract:thedivi

本文通过工艺转化,采用车铣复合加工中心与深孔钻取代电火花来实现小孔和深孔的加工,解决了电火花加工带来的表面质量和尺寸精度差等一系列问题。

针对滤光片支架材料加工难点,设计了合理的工装,优选电极,优化电参数。通过以上手段保证了方槽尺寸,达到了设计要求。

电火花加工的常用术语 电火花加工中常用的主要名词术语和符号如下： 1．工具电极 电火花加工用的工具是电火花放电时的电极之一，故称为工具电极，有时简称电极。由 于电极的材料常常是铜，因此又称为铜公(如图3-1所示)。 2．放电间隙 放电间隙是放电时工具电极和工件间的距离，它的大小一般在0.01～0.5mm之间，粗 加工时间隙较大，精加工时则较小。 3．脉冲宽度ti(μs) 脉冲宽度简称脉宽(也常用on、ton等符号表示)，是加到电极和工件上放电间隙两端 的电压脉冲的持续时间(如图3-2所示)。为了防止电弧烧伤，电火花加工只能用断断续续的 脉冲电压波。一般来说，粗加工时可用较大的脉宽，精加工时只能用较小的脉宽 脉冲参数与脉冲电压、电流波形 4 123 1—工具电极；2—工件； 3—脉冲电源；4—伺服进给系

利用水力旋流器对固体颗粒的分级、分离功能,设计了一种既能用于常规电火花加工又能用于混粉电火花镜面加工的通用型储液箱。

1、放电间隙：放电间隙指加工时工具和工件之间产生火花 放电的一层距离间隙。在加工过程中，则称为加工间隙s， 它的大小一般在0.01-0.5mm之间，粗加工时间隙较大，精加 工时则较小。加工间隙又可分为端面间隙sf和侧面间隙sl （见图三） 2、脉冲宽度ti（μs）：脉冲宽度简称脉宽，它是加到工具 和工件上放电间隙两端的电压脉冲的持续时间（见图）为了 防止电弧烧伤，电火花加工只能用断断续续的脉冲电压波。 粗加工可用较大的脉宽ti>100μs，精加工时只能用较少的 脉宽ti<50μs。 3、脉冲间隔to(μs)：脉冲间隔简称脉间或间隔，也称脉冲 停歇时间。它是两个电压脉冲之间的间隔时间(见图四)。间 隔时间过短，放电间隙来不及消电离和恢复绝缘，容易产生 电弧放电，烧伤工具和工件；脉间选得过长，将降低加工生 产率。加工面积、加工深度较大

电火花加工技术的发展趋势与工艺进展 王振龙　赵万生　李文卓 (哈尔滨工业大学) 摘要　结合国内外电火花加工技术的最新进展,系统地综述了电火花加工技术的发展趋势与工艺进展。作 为一种实用的加工技术,电火花加工技术仍大有可为,在我国应继续加大力度进行研究。 关键词　电火花加工　发展趋势　工艺进展 1　前言 　　伴随着难加工材料及复杂型面加工而逐步发展成 熟起来的电火花加工技术(edm),已经成为制造技术 中不可缺少的加工手段之一。据统计,目前电火花加 工机床已占世界机床市场的6%[1]。 相对于传统的切削加工技术而言,电火花加工技 术的研究与开发历史并不长,对其加工机理与适用范 围的研究还并不充分。一般认为,这是限制其发展与 应用的主要因素。但同时也应看到,正因为如此,它才 可能具有较大的想象空间。 现代制造技术及其相关技术的发展,在为

在电火花加工中,工具电极材料的选择非常重要,它不仅影响到电火花加工的稳定性,还影响到电火花的加工速度和工具电极的损耗。不同工具电极加工速度之所以不同,其原因在于能量在工具电极和工件间的分配比例不同,这点有关资料及教材都有定论。为什么会分配不同,却少有文章详细阐述,现就电火花加工中就常用的紫铜电极和石墨电极在加工铜时加工速度的差别及原因提出个人观点。

以电火花加工淬火钢螺纹孔为实例,探讨了电火花加工螺纹的原理和特点,并对工具电极的制作和装夹调校以及为确保加工质量所应采取的措施作了说明。

以航空产品中一种具有深、窄槽且精度较高的挠性接头为对象,进行了一系列的工艺试验和研究,最终确定了适用于批量生产特点的零件工艺方案。实践证明该工艺方案合理可行,保证了加工质量,提升了生产效率。

针对消除轧管过程中"铁耳子"现象的管坯冷定心孔电火花加工控制问题,提出了一种基于定量反馈控制理论和非线性扰动观测理论的电液伺服控制策略。该控制策略将电液伺服系统划分为负载环和压力跟踪环,在负载环利用定量反馈控制器得到压力跟踪环的液压缸期望负载压力;在压力跟踪环则利用基于非线性扰动观测的控制器实现对液压缸负载压力的跟踪。系统实际控制结果表明,该控制策略具有较好的动态跟踪性能,可以较好地实现具体加工过程。

在深微孔电火花加工中,工作液及电极材料等非电参数的选择对加工效率及加工质量有极大的影响,揭示这些非电参数的工艺规律对提高深微孔电火花加工性能有重要的研究意义。利用煤油和去离子水两种工作液,以加工效率为目标,在不同条件下开展工艺试验,得出最适宜的工作液在加工45钢和紫铜材料工件时为去离子水,加工铝合金材料工件时为煤油;利用黄铜丝、钨丝及钼丝3种电极材料,同样以加工效率为目标开展工艺试验,得出最佳电极材料在加工45钢工件时为钨,加工紫铜材料工件时为钨和钼,加工铝合金材料工件时为黄铜。上述研究在深微孔电火花加工中合理选择工作液及电极材料方面做出了有益的探索,其研究成果为深微孔电火花加工高效率、高质量的开展提供了重要的借鉴。

传统机械铣削和电火花成形方法加工深窄槽,效率低、精度差,因此提出利用主轴高速旋转圆盘电极加工深窄槽的电火花加工方法。对不同主轴转速下的加工速度、电极损耗及表面粗糙度进行了实验研究,结果表明:提高主轴转速,有利于提高深窄槽的加工速度,并能降低电极损耗,改善加工表面质量。

提出了一种使用超声振动辅助混粉电解电火花铣削加工硬脆性非导电材料的方法。通过对高硼玻璃进行超声振动作用下的混粉电解电火花铣削加工实验,研究了超声振动对电解电火花铣削加工表面质量的影响规律。结果表明:采用超声振动辅助混粉电解电火花加工,可获得较好的表面质量。

铝花纹块的硫化膨胀量是决定合模后的花纹圈圆度和轮胎是否存在胶边的关键尺寸.通过将膨胀量值均匀分配于各花纹块之间的工艺,使电火花加工花筋连接无错台,花纹块加工质量好.

电加工是一种新型机械加工工艺,长期以来一直用煤油作为工作液。煤油是一种专用燃料,用作火花加工极不合适,气味大,挥发性大,常规一换油期短不经济。