低频超声传感器，具体地说是作为自动仪表和电子过程控制中的一次仪表，属于利用超声的远距测量、监控、远传信息等技术领域。其主要采用双芯屏蔽线的其中一根引入线穿过后盖与陶瓷片的一面连接，另一根引入线穿过后盖与陶瓷片的另一面连接，陶瓷片与助音膜粘接后装入助音腔内，吸音腔与助音腔粘接伸入外壳，前端盖盖在外壳上。本实用新型结构简单、紧凑，合理；单峰特性好、功率大、灵敏度高、无干扰，而且单峰幅值圆滑，无周边杂拨；由于采用空气传布阻力很小的超声频率，有足够的声压和指向性；由于采用了吸音材料制成的导向体加以结合，加上金属外壳封装，确保了产品的实用价值，并可广泛用于手工业自动设备及精密仪表。

校准是保证传感器测量数据准确的前提。低频振动传感器在地震观测、土木水利与建筑工程、机械与运载工程、能源与矿业工程等愈来愈获得广泛应用，这些传感器都需要在低频振动标准装置上进行校准，低频标准振动台是低频振动标准装置的关键设备，低频标准振动台的设计和制造技术通常决定了一个国家低频振动校准的水平。振动台在校准中用于产生标准振动信号，通常情况下是正弦信号，但校准激励信号有从稳态正弦信号向随机信号发展的趋势。 2100433B

低频传感器校准系统，主要由低频标准振动台，超低频功率放大器，零位调节仪，程控标定仪及PC软件组成。

校准的原理如下:将被校振动测量仪的加速度计与标准加速度计,背靠背刚性地连接在振动台的台面中心,或者将被校加速度计安装在振动台内装参考加速度计的支架上,并保证两只传感器同轴。对校准台施以给定频率和加速度的正弦激励,把振动测量仪或放大器(电荷或电压)的测量范围选择在合适的档位。此时,通过对被校测量仪与标准(或参考)加速度计的输出进行数据换算和比较,即可得到被校振动测量

振动比较法标准装置和振动台检定装置为机械电力、桥梁建筑、水利建设、地质探测以及航天航空等领域的工程测量，地震监测，故障诊断、机械监控和大专院校、科研院所的高精尖技术研究提供振动校准检测服务。

低频或超低频振动测量套件专利目的

《低频或超低频振动测量套件》提出了一种可以解决上述问题的低频或超低频振动测量套件。

低频或超低频振动测量套件技术方案

《低频或超低频振动测量套件》的发明人发现，2010年9月前在航天系统中使用的、应用于飞行器姿态控制的石英挠性伺服加速度计具有体积小、重量轻、高分辨率和稳定性好等特点，且具有直流响应的特性。如果将该类传感器应用于低频或超低频振动测量，并针对该类传感器设计特定的电源和适调放大器，则可以对低频或超低频振动进行精确的测量。该发明基于上述发现而做出。

根据《低频或超低频振动测量套件》的一个方面，提供了一种低频或超低频振动测量套件，包括：石英挠性加速度计，测量低频或超低频振动并输出以电压或者电流方式表示的低频或超低频振动信号；适调放大器，接收所述石英挠性加速度计输出的低频或超低频振动信号，对所述低频或超低频振动信号进行可选的放大处理并输出经处理的低频或超低频振动信号；以及稳压电源部件，用于为所述适调放大器提供稳压电源，其中所述稳压电源部件包括：电源输入端，以提供输入电源；耦接到所述电源输入端的一级稳压部件以及耦接到所述一级稳压部件的二级稳压部件，所述一级和二级稳压部件构成反馈式跟踪稳压电路，以降低所述输入电源电压的波动；耦接到所述二级稳压部件的LC滤波电路，以进一步过滤所述电源电压中的高频分量；以及电源输出端，输出经稳压的电源给所述适调放大器。

可选地，稳压电源部件的电源输出端还输出经稳压的电源到挠性加速度计。

可选地，稳压电源部件还包括耦接在所述LC滤波电路和所述电源输出端之间的三级稳压部件，用于进一步降低所述电源电压的波动。

可选地，适调放大器还包括：调零电路，接收来自所述稳压电源部件的经稳压的电源，并提供与所述低频或超低频振动信号中的静态分量相对应的调零信号；减法器，接收所述低频或超低频振动信号和所述调零信号，并输出从所述低频或超低频振动信号中减去所述调零信号之后的经调零信号；多级直流放大器，接收所述经调零信号并进行多级直流放大，以提供多个放大后的低频或超低频振动信号；以及多个有源滤波器，接收来自所述稳压电源部件的经稳压的电源，用于对所述放大后的低频或超低频振动信号进行滤波。

低频或超低频振动测量套件改善效果

根据《低频或超低频振动测量套件》的发明人的实验结果表明，根据《低频或超低频振动测量套件》的适调放大器在0.01赫兹～100赫兹的低频或超低频振动范围内取得了较好的测量效果。