目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面:

1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。

原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

工艺大致分成以下3种:

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

3、实验室和中试车间用超纯水;

4、汽车、家电表面抛光处理;

5、光电子产品;

6、其他高科技精微产品;

7、食品加工类产品，如盐

8、光伏、血透、

1. 水垢

在循环冷却水系统中，碳酸氢盐的浓度随蒸发浓缩而增加。严重时，是换热器堵塞，系统阻力增大，水泵和冷却塔效率下降，生产能耗增加，产量下降，加快局部腐蚀，甚至造成非正常停产。

2腐蚀

循环冷却水系统中，大量设备是金属制造，长期使用循环冷却水，会发生腐蚀穿孔。这是由多种因素造成的，主要是冷却水中溶解氧引起的电化学腐蚀;有害离子引起的腐蚀;微生物引起的腐蚀等。设备管壁腐蚀穿孔，会形成渗漏，或是工艺介质泄漏入冷却水中，损失物料，污染水体，造成经济琐事，影响安全生产。

2. 藻类及生物菌泥

在循环水中，由于养分的浓缩，水温升高和日光照射给细菌和藻类的迅速繁殖创造了条件。细菌分泌的粘液使水中漂浮的灰尘杂质和化学沉淀物等黏附在一起，形成沉积物附着在传热表面，即生物粘泥或软垢。粘泥附着会引起腐蚀，冷却水流量减少，进儿降低冷却效率;严重时会堵死管道，迫使停产清洗。

工业水处理工艺采用絮凝加药装置在泵前往循环冷却水中投加絮凝剂，原水通过增压泵增压后，絮凝剂经水泵叶轮搅拌后均匀混合将原水中的细小固体颗粒悬浮物进行微絮凝反应，快速生成体积大于5微米的絮体，流经过滤系统管路进入全效循环水处理系统，再被过滤器内滤料过滤截留，最后合格水流回循环水管。本设备采用气水联合冲洗，反洗空气由风机提供，反洗水由反冲洗泵提供。

1、采用离子交换方式，其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

2、采用两级反渗透方式，其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

3、采用EDI方式，其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

1)离子交换过程:此过程靠离子交换树脂对水中电解质离子的交换作用，达到去除水中的离子。

2)电渗析过程:在外电场作用下，水中的电解质通过离子交换膜进行选择性迁移，从而达到去除离子的作用。

3)电化学再生过程:利用电渗析的极化过程产生的H+和OH-离子及树脂本身的水解作用对树脂进行电化学再生。