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江苏中能硅业科技发展有限公司、河南协鑫光伏科技有限公司、无锡中硅新材料股份有限公司等。
李军正、胡伟、张晓东等。
本标准适用于以多晶硅为原料,通过直拉法(CZ)生产硅棒再经过线切割加工或采用基座法拉制的硅芯。
高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,在未来的50年里,还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原材料。随着信息技术和太阳能产业的飞速发展,全球对多晶硅的需求增长迅猛,市场供...
多晶硅分为电子级和太阳能级。先说太阳能级的,是作为太阳能产业链的原料,用于铸锭或拉单晶硅棒,在切成硅片,生产成太阳能电池板,就是卫星、空间站上的太阳能帆板,大部分还是用在建太阳能电站了,国内的太阳能电...
进入2017年后,多晶硅价格上涨趋势放缓,但扩产潮仍在持续。照这个速度,到今年中期,国内多晶硅产能将达到25万吨/年左右。届时,下半年或陷入供大于求的局面,价格也会触顶下滑。据前瞻发布的《中国...
行业标准项目建议书建议项目名称(中文)改良西门子法多晶硅副产四氯
行业标准项目建议书 建议项目名称 (中文 ) 改良西门子法多晶硅副产四氯化硅 建议项目名称 (英文 ) Silicon tetrachloride by-product of polysilicon in modified siemens process 制定或修订 ■制定 □ 修订 被修订标准号 采用程度 □ IDT □ MOD □ NEQ 采标号 国际标准名称 (中文) 国际标准名称 (英文) 采用快速程序 □ FTP 快速程序代码 □B □C ICS 分类号 中国标准分类号 牵头单位 洛阳中硅高科技有限公司 体系编号 6-61-613 参与单位 中国恩菲工程技术有限公司、 多晶硅制 备技术国家工程实验室 计划起止时间 2015-2016 目的﹑意义或必 要性 随着全球能源危机的急剧加剧,太阳能作为一种清洁、可持续再生的能源,在全球范围内 备受关注,多晶硅是电子工业和光伏
西门子)
西门子: 1. 中国业务涉及领域:信息通讯、自动化与控制、发电、交通、医疗、金融、照明 、家 用电器 2. 各业务领域在国内分公司等营销资源布局: 通信集团 (COM) (本部门大部分公司皆已经转移至诺基亚西门子通信) 西门子数字程控通信系统有限公司( SBCS)、西门子终端通讯设备(上海)有限公司 (SHC) 自动化与驱动集团 (A&D) 上海西门子线路保护系统有限公司 (SCPS)、苏州西门子电器有限公司 (SEAL) 西门子电气传动有限公司 (SEDL)、西门子工厂自动化工程有限公司 (SFAE)、上海西门子 工业自动化有限公司 (SIAS) 、西门子机械传动 (天津)有限公司 (SMDT) 、西门子数控 (南 京) 有限公司 (SNC)、镇江西门子母线有限公司 (ZSB、西门子(上海)电气传动设备有限 公司 (SEDS)、西门子电子装配系统有限公司 (SEAS) 工业系统及技
《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》属于多晶硅生产技术领域,特别是涉及一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,以及一种多晶硅生产设备。
《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》实施例提供一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备,主要目的是解决参与还原反应三氯氢硅的纯度低,进而影响三氯氢硅的一次转化率,导致多晶硅的生产成本高的问题。
《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》采用了如下技术方案:
一方面,《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》实施例提供了一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,包括以下步骤:
步骤1,三氯氢硅在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅,还原炉排出尾气;
步骤2,步骤1的尾气经多级冷凝得到不凝气和冷凝液,不凝气进入吸收塔,吸收塔吸收不凝气中的HCL并流出氯硅烷富液;冷凝液与氯硅烷富液混合后进入解析塔;
步骤3,解析塔流出的氯硅烷贫液分为两部分:第一部分氯硅烷贫液进入吸收塔作为吸收剂,第二部分氯硅烷贫液进入反歧化反应器发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅的质量百分含量降低;
步骤4,反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔;三氯氢硅合成器输出的产物进入精馏塔;精馏塔流出的三氯氢硅和二氯二氢硅进入还原炉。
如上所述的基于改良西门子法的多晶硅生产方法,优选地,步骤3,第二部分氯硅烷贫液分离两支;第一支氯硅烷贫液进入反歧化反应器发生反歧化反应,将氯硅烷贫液中的二氯二氢硅由5%-7wt%降至2%-3wt%;然后第一支氯硅烷贫液与第二支氯硅烷贫液汇合,形成混合氯硅烷贫液。
如上所述的基于改良西门子法的多晶硅生产方法,进一步,吸收塔产生的H2返回还原炉重复利用。
如上所述的基于改良西门子法的多晶硅生产方法,进一步,解析塔产生的HCl进入三氯氢硅合成器,用于与硅粉反应生成三氯氢硅。
如上所述的基于改良西门子法的多晶硅生产方法,进一步,第一支氯硅烷贫液进入反歧化反应器前利用过滤器进行过滤;第一支氯硅烷贫液流出反歧化反应器后利用过滤器进行过滤。
《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》还提供一种多晶硅生产设备,包括:
还原炉,用于使三氯氢硅在H2气氛中还原沉积得到多晶硅;
多级冷凝器,所述多级冷凝器与还原炉连接,用于冷却还原炉排出的尾气并得到不凝气和冷凝液;
吸收塔,所述吸收塔与多级冷凝器的不凝气出口连接,用于吸收不凝气中的HCl,使HCl与H2分离;
解析塔,所述解析塔与多级冷凝器的冷凝液出口以及吸收塔的氯硅烷富液出口连接,用于分离氯硅烷富液中的HCl并生成氯硅烷贫液;
反歧化反应器,所述反歧化反应器与解析塔的氯硅烷贫液出口连接,在反歧化反应器中氯硅烷贫液中的二氯二氢硅发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅由5%-7wt%降至2%-3wt%;
三氯氢硅合成器,在所述三氯氢硅合成器中硅粉与HCl反应制备三氯氢硅;
精馏塔,所述精馏塔分别与反歧化反应器和三氯氢硅合成器连接,用于将三氯氢硅和二氯二氢硅二者与氯硅烷分离,精馏塔的三氯氢硅、二氯二氢硅出口连接还原炉。
如上所述的多晶硅生产设备,进一步,吸收塔的H2出口与还原炉连接,H2返回还原炉重复利用。
如上所述的多晶硅生产设备,进一步,解析塔的HCl出口与三氯氢硅合成器连接,使HCl与硅粉反应生成三氯氢硅。
如上所述的多晶硅生产设备,进一步,还包括至少一个过滤器,安装在所述反歧化反应器的进口端,和/或安装在所述反歧化反应器的出口端。
如上所述的多晶硅生产设备,进一步,还包括压力调节阀,所述压力调节阀安装在所述反歧化反应器的出口端。
与2014年12月之前技术相比,《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》的有益效果在于:
在《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》多晶硅生产方法中,第二部分氯硅烷贫液进入反歧化反应器发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅的质量百分含量降低;反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔;三氯氢硅合成器输出的产物进入精馏塔;在整个工艺流程其他部分不发生变化的情况下,精馏塔流出的三氯氢硅和二氯二氢硅产物中二氯二氢硅含量降低,也就是说送至还原炉进行还原反应的三氯氢硅中含有的二氯二氢硅降低,提高了参与还原反应三氯氢硅的纯度,三氯氢硅的一次转化率提高,使多晶硅的生产成本降低。
在《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》多晶硅生产设备中,增加了反歧化反应器,反歧化反应器与解析塔的氯硅烷贫液出口连接,在反歧化反应器中氯硅烷贫液中的二氯二氢硅发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅含量降低。反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔;三氯氢硅合成器输出的产物进入精馏塔;在整个工艺流程其他部分不发生变化的情况下,精馏塔流出的三氯氢硅和二氯二氢硅产物中二氯二氢硅含量降低,也就是说送至还原炉进行还原反应的三氯氢硅中含有的二氯二氢硅降低,提高了参与还原反应三氯氢硅的纯度,三氯氢硅的一次转化率提高,使多晶硅的生产成本降低。
2018年12月20日,《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》获得第二十届中国专利优秀奖。