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LPP光源

LPP(laser-produced plasma)光源,全称为激光等离子体光源,一般特指液体微滴喷射靶激光等离子体光源,是一种具有较高的软X射线转换效率且能够长期连续运行的低碎屑光源。在极紫外光刻及辐射计量等领域有着重要应用价值和广阔的发展前景。

LPP光源应用

虽然32nm,22/20nm节点上已经基于193nm液浸式光刻系统的双重成像(double patterning)技术。但是走向更小节点时,EUV仍是业者关注的焦点。光源是光刻机上最重要的组成部分之一,光源的能量、稳定性、寿命等在某种程度上影响着光刻技术的发展,光源的质量更是举足轻重的,所以很多大厂家都把EUV光刻的期望寄托在LPP光源上。 2100433B

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LPP光源造价信息

  • 市场价
  • 信息价
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太阳能线条点光源

  • 1000×61×66mm
  • 蜀华
  • 13%
  • 广东蜀华照明科技股份有限公司
  • 2022-12-06
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LED立面点光源Ø50mm

  • OUGE-DGY-50YC
  • 勇电
  • 13%
  • 贵州光明航专业照明有限公司
  • 2022-12-06
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全光谱球泡灯(模拟自然光源加倍呵护双眼)

  • 功率:5W/7W/9W
  • 罗化光源
  • 13%
  • 深圳市罗化光源有限公司
  • 2022-12-06
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LED方形电光源

  • DC24V 80*80*60 18颗5050贴片LED/LNF-020W
  • 13%
  • 贵阳市祥和科技有限公司
  • 2022-12-06
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光源

  • JFL-RLL222-27 22W全螺旋光源
  • 嘉美时代
  • 13%
  • 佛山市南海嘉美时代照明有限公司广西办事处
  • 2022-12-06
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LED光源

  • E14SB 雾银、金色
  • 阳江市2012年12月信息价
  • 建筑工程
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LED光源

  • E27PA 雾银(6×0.5W)
  • 阳江市2012年11月信息价
  • 建筑工程
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LED光源

  • E14SB 雾银、金色
  • 阳江市2012年11月信息价
  • 建筑工程
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LED光源

  • E27PA 雾银(6×0.5W)
  • 阳江市2012年10月信息价
  • 建筑工程
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LED光源

  • E14SA 雾银(6×0.5W)
  • 阳江市2012年10月信息价
  • 建筑工程
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光源

  • 1000W(MH光源)
  • 34套
  • 2
  • 辉阳
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2014-12-01
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光源

  • 1000W(MH光源)
  • 15套
  • 2
  • 辉阳
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2014-12-01
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光源

  • 1000W(Z型智能光源)
  • 16套
  • 2
  • 辉阳
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2014-12-01
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光源

  • 1500W(Z型智能光源)
  • 24只
  • 2
  • 辉阳
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2014-12-01
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光源

  • 水晶灯LED光源COB98
  • 1个
  • 3
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2014-12-31
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LPP光源原理

二氧化碳激光脉冲经过放大、整形并对焦后,进入激光激发等离子型真空室。激光脉冲非常精准地击射在由液态锡滴产生器所产生的液态锡滴上。具有高度激发物质的等离子前导波在二氧化碳激光脉冲与液态锡滴作用的区域辐射出13.5nm光子超紫外线。专为13.5nm波长所设计的多层镀膜反射镜集光器收集背向辐射光源,并将光源导向位于光源输出端的中间焦点位置,以做为扫描式光刻机曝光光源。

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LPP光源常见问题

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LPP光源文献

LED光源与激光光源区别.. LED光源与激光光源区别..

LED光源与激光光源区别..

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大小:1.5MB

页数: 12页

LED光源与激光光源区别..

LED光源与激光光源区别 LED光源与激光光源区别

LED光源与激光光源区别

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大小:1.5MB

页数: 12页

LED光源与激光光源区别

多波段光源光源分类

过去的卤素多波段光源,现在主要是氙灯光源,根据设计方式分为手持式和台式多波段光源:

手持式主要是手持式十三波段光源,例如JTX-T911手持式十三波段光源。手持式又称为便携式多波段光源。

手持式十三波段光源采用55瓦氙灯为发光源,氙灯输出光谱的范围在250nm-800nm区间,均衡地分布在紫外、可见和近红外区。经滤光片滤光后,在350nm-700nm范围内的各个波段都能滤出能量较强的单色光,而且各波段的能量比较均衡。随着发展,十三波段光源已由55W瓦氙灯到75W氙灯为发光源!

台式多波段光源功率大、输出光强,均匀、灯泡寿命长,为满足用户不同的需求,在光路设计上有独特的设计,输出光斑焦距可调,输出光可自行调节强弱,配置高容量的锂电池,连续供电时间达90分钟 ;人性化外观设计。在许多刑事案件现场工作中取得了极大的成绩;同类产品中受到用户和专家的一致好评。

目前市场还有德国十波段光源,多波段光源七个波段以上,主要拥有紫外光,蓝光,白光,CSS等已经足够用了,不需要更多的波段。

十三波段:

输出波段(13个):

白光-365nm-415nm-450nm-css-490nm-510nm-530nm-555nm-570nm-590nm-610nm-弱白光

关于多波段光源使用是一个日积月累的过程,只有在使用中才能得到技能的提高。

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SLED光源光源特性

SLED光源的辐射特性介乎半导体激光器与半导体发光二极管之间,随着陀螺、光相干层析成像(OCT)、分布式光纤传感、白光干涉仪的发展,SLED衍生出多个系列产品,划分的依据包括光源覆盖的波段范围、光波偏振特性等。特别是随着干涉型光纤传感器的发展,光源的偏振特性受到更为广泛的关注,按照光源的偏振特性,SLED光源向两个极端发展,亦即高偏振与低偏振SLED光源。

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SLED光源光源概述

SLED光源是专为传感、光纤陀螺、实验室等特殊应用领域设计的超宽带光源。其相对于一般的宽带光源具有输出功率高、覆盖光谱范围宽等特点。该产品具有台式(供实验室应用)和模块式(供工程应用)。光源核心器件采用3dB带宽达40nm以上的特殊高输出功率SLED,经过独特的电路整合,可以在一个设备内放置多只SLED来达到输出谱线的平坦化。独特的ATC和APC电路通过控制SLED的输出保证了输出功率和谱线的稳定。通过调节APC,可在一定范围内调节输出功率。简便和智能的操作与远程控制。

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