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硅微机械传感器

《硅微机械传感器》是2003年中国宇航出版社出版的图书。

硅微机械传感器基本信息

硅微机械传感器目录

第1章 引言

第2章 MEMS

2.1 微型化和系统

2.2 MEMS的例子

2.3 大和小:按比例缩小

2.4 已有的制造技术

第3章 硅微机械加工工艺

3.1 光刻

3.2 薄膜淀积和掺杂

3.3 湿法化学腐

3.4 圆片键合

3.5 等离子体刻蚀

3.6 面微机械加工工艺

第4章 梁和膜的力学

4.1 质量块-弹簧系统的动力学

4.2 弦

4.3 梁

4.4 膜片和薄膜

第5章 机械量的测量原理:形变的转换

5.1 金属应变片

5.2 半导体应变片

5.3 电容式传感器

第6章 力和压力传感器

6.1 力传感器

6.2 压力传感器

第7章 加速度和角速度传感器

7.1 加速度传感器

7.2 角速度传感器

第8章 流体传感器

8.1 层状流边界层

8.2 限于很小雷诺数情况下的热传输

8.3 热流体传感器

8.4 表层摩擦力传感器

8.5 "干流体"传感器

8.6 "湿流体"传感器

第9章 谐振传感器

……

第10章 电子电路 接口

第11章 封装

附录 英汉名词对照

参考文献

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硅微机械传感器造价信息

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氨氮PH传感器

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  • 3
  • 西门子、施耐德、霍尼韦尔、杰夫瑞尔
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  • 中档
  • 含税费 | 含运费
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  • 1个
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  • 采用市场主流名牌
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2019-09-03
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硅微机械传感器内容简介

本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识,只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求,本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始,论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识,并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

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硅微机械传感器常见问题

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硅微机械传感器文献

微机械压阻式冲击加速度传感器研究 微机械压阻式冲击加速度传感器研究

微机械压阻式冲击加速度传感器研究

格式:pdf

大小:27.6MB

页数: 80页

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表面微机械MEMS温度传感器研究 表面微机械MEMS温度传感器研究

表面微机械MEMS温度传感器研究

格式:pdf

大小:27.6MB

页数: 5页

提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 m V/℃,具有良好的稳定性。

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