用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（ 1 微米比一根头发的 1/25 还细。由于太细，所以肉眼无 法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表 明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低 10-100 倍）。实现 1 微米的测量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高 精度环境补偿模块、 几何参量干涉光路设计、 高精度激光干涉信号处理系统、 高性能计算机 控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速 (约 6 分 钟)、高精度 (0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜 组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 SJ6000 激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范 围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测， 可以进行机床振动测试与分析， 滚珠丝杆的动态特性分析， 驱动系统的响应特性分析， 导轨 的动态特性分析等，具有极高的精度