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精抛光

精抛光主要是指复合材料以及仪表、陶瓷、光学玻璃、各种有色和黑色金属、宝石等产品的高光洁度表面的研磨及抛光。

精抛光过程

固定:将单晶硅棒固定在加工台上。

切片:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水

退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。

倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。

分档检测:为保证硅片的规格和质量,对其进行检测。此处会产生废品。

研磨:用磨片剂除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层,有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度,达到一个抛光过程可以处理的规格。此过程产生废磨片剂。

清洗:通过有机溶剂的溶解作用,结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质。此工序产生有机废气和废有机溶剂。

RCA清洗:通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物质和金属离子。具体工艺流程如下:

SPM清洗:用H2SO4溶液和H2O2溶液按比例配成SPM溶液,SPM溶液具有很强的氧化能力,可将金属氧化后溶于清洗液,并将有机污染物氧化成CO2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的有机污物和部分金属。此工序会产生硫酸雾和废硫酸。

DHF清洗:用一定浓度的氢氟酸去除硅片表面的自然氧化膜,而附着在自然氧化膜上的金属也被溶解到清洗液中,同时DHF抑制了氧化膜的形成。此过程产生氟化氢和废氢氟酸。

APM清洗: APM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液组成,硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜(约6nm呈亲水性),该氧化膜又被NH4OH腐蚀,腐蚀后立即又发生氧化,氧化和腐蚀反复进行,因此附着在硅片表面的颗粒和金属也随腐蚀层而落入清洗液内。此处产生氨气和废氨水。

HPM清洗:由HCl溶液和H2O2溶液按一定比例组成的HPM,用于去除硅表面的钠、铁、镁和锌等金属污染物。此工序产生氯化氢和废盐酸。

DHF清洗:去除上一道工序在硅表面产生的氧化膜。

磨片检测:检测经过研磨、RCA清洗后的硅片的质量,不符合要求的则从新进行研磨和RCA清洗。

腐蚀A/B:经切片及研磨等机械加工后,晶片表面受加工应力而形成的损伤层,通常采用化学腐蚀去除。腐蚀A是酸性腐蚀,用混酸溶液去除损伤层,产生氟化氢、NOX和废混酸;腐蚀B是碱性腐蚀,用氢氧化钠溶液去除损伤层,产生废碱液。本项目一部分硅片采用腐蚀A,一部分采用腐蚀B。

分档监测:对硅片进行损伤检测,存在损伤的硅片重新进行腐蚀。

粗抛光:使用一次研磨剂去除损伤层,一般去除量在10~20um。此处产生粗抛废液。

精抛光:使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,从而的到高平坦度硅片。产生精抛废液。

检测:检查硅片是否符合要求,如不符合则从新进行抛光或RCA清洗。

检测:查看硅片表面是否清洁,表面如不清洁则从新刷洗,直至清洁。

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精抛光造价信息

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抛光

  • 巴塞纳 垂直微粉升级版 一类 LW68 规格1200×600
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  • 13%
  • 广东新明珠陶瓷集团有限公司(玉林市厂商期刊)
  • 2022-12-06
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抛光

  • 米若拉 一类 LW83 规格600×600
  • 格莱斯
  • 13%
  • 广东新明珠陶瓷集团有限公司(玉林市厂商期刊)
  • 2022-12-06
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抛光

  • 原石印象 垂直布料立体微粉 三类 LW9 规格1200×600
  • 格莱斯
  • 13%
  • 广东新明珠陶瓷集团有限公司(玉林市厂商期刊)
  • 2022-12-06
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抛光

  • 丝绸之路 半透立体微粉 一类 Lw28 规格1000×1000
  • 格莱斯
  • 13%
  • 广东新明珠陶瓷集团有限公司(玉林市厂商期刊)
  • 2022-12-06
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抛光

  • 水岸春天 一类 LW66 规格800×800
  • 格莱斯
  • 13%
  • 广东新明珠陶瓷集团有限公司(玉林市厂商期刊)
  • 2022-12-06
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扎头

  • 肇庆市2004年1季度信息价
  • 建筑工程
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扎头

  • 1#-5#
  • 肇庆市2003年3季度信息价
  • 建筑工程
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扎头

  • 1#-5#
  • 韶关市2010年7月信息价
  • 建筑工程
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扎头

  • 1#-5#
  • 肇庆市2004年1季度信息价
  • 建筑工程
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扎头

  • 肇庆市2003年3季度信息价
  • 建筑工程
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砌体

  • 砌体
  • 200m³
  • 2
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  • 2022-05-19
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室"有人灯"

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  • 1
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  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
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520高喷绘布

  • 520高喷绘布
  • 1500m²
  • 3
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2020-09-27
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内打灯布

  • 内打灯布
  • 3600m²
  • 1
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2021-06-07
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520高喷绘(打钉眼)

  • 520高喷绘(打钉眼)
  • 300m²
  • 1
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2016-12-12
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精抛光常见问题

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精抛光文献

不锈钢超精抛光蜡的研制 不锈钢超精抛光蜡的研制

不锈钢超精抛光蜡的研制

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大小:710KB

页数: 4页

目前,国产不锈钢超精抛光蜡不能满足市场需求,对其配方研制报道较少。为此,对不锈钢粗抛光后,采用超精抛光蜡进行精抛光,对其组分进行了筛选:以α型氧化铝粉为抛光磨料;以混合硬脂酸作抛光内脂;利用油酸的润滑作用降低不锈钢表面的抛光温度,利用三乙醇胺与有机酸的皂化反应生成物润滑和清洁不锈钢表面;利用松香和石油磺酸钡提高不锈钢表面的光泽度。获得的抛光蜡最佳组成:22.5 g硬脂酸4,.5 g油酸0,.5 g三乙醇胺0,.5 g石油磺酸钡,2.5 g水白氢化松香,69.5 g氧化铝粉。经该超精抛光蜡抛光后不锈钢表面光泽度可达690.6。不锈钢超精抛光蜡的抛光机理:硬脂酸在铁表面产生化学吸附形成单分子层硬脂酸铁皂膜,该润滑膜在金属表面附着力大,使边界润滑能力大为提高,从而消除了氧化铝粉体磨削过程中可能带来的微细划痕。

用超精抛光技术修复细沙钢领 用超精抛光技术修复细沙钢领

用超精抛光技术修复细沙钢领

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大小:710KB

页数: 2页

使用超精抛光机抛光细纱钢领,替代以前的喷砂水磨钢领,通过对两种处理的钢领的使用效果测试、分析、比较,认为超精抛光机抛光的钢领具有复磨周期长、使用寿命长、消耗费用低、细纱断头少等优点。

超精抛光机主要功能

适用于蓝宝石、碳化硅等超硬脆材料的超精抛光,人机介面方便操作,本机加强支撑杆设计,稳定性更高。

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超精抛光机技术指标

1、研磨盘外径:914mm2、加压板直径:355mm3、加压板数量:4SETS4、加压方式:空压缸加压5、加压板独立驱动:有6、机器尺寸(mm):W 1,322 * D 2,210 * H 2,460 mm7、机器重量:4200 Kg8、适用电源:220 V9、盘面转速0 ~ 87 RPM无段调整10、抛光盘面跳动:小于0.1mm。

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美的WT2125包装清单

电磁炉WT2125*1,汤锅*1,加厚精抛光铸铁炒锅*1,说明书*1.保修卡*1

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