选择特殊符号
选择搜索类型
请输入搜索
本规程适用于动态压力传器的首次检定、后续检定和使用中检验。压力传感器及动态压力测量系统的校准可参照本规程。
微型、薄型动态压力传感器
微型、薄型动态压力传感器 一、CYG502型超微型压力传感器 (绝压 ) 标称尺寸外径 2mm的超微型压力传感器 CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺 寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。 CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的 MEMS(Miro Electronic Machinical Systems) 技术设计与制造。 三维集成、 双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。 离子注 入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。 采用硅硅 直接键合技术、 倒 V型槽设计、 从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化, 为超微型传感器 的实现取得关键突破。 使用了硅–硅键合技术,改善了热匹配效果,减少了应力带来的零位不稳定性。 目前已面市品种有绝压型测量模式产品,表压型正在研制中。 二、CYG503型微型压力传感器(
2011年7月29日,《硅压阻式动态压力传感器》发布。
2011年12月1日,《硅压阻式动态压力传感器》实施。
该系列压力传感器、变送器是为满足用户在响应频率、外形结构、工作温度等方面特殊要求而设计的产品。以响应频率特点将其定义为微型探针型压力传感器、薄饼型压力传感器等,以耐温度特性将其定义为中高温压力传感器等。这种产品由于要满足用户的多重要求,变送器在结构上常常多采用分体式结构。
这个系列的传感器利用半导体硅极高的杨氏弹性模量和优良的力学特性制成,使传感器具有很高的固有频率,结合本公司先进的内部,外部结构设计,减小了频率损耗。从而获得很高的响应频率和上升时间,是测量高频动态压力的理想产品。
高的频率响应个动态测量;宽的通频带;宽的工作温区;量程覆盖广;产品性能长期稳定性好。
石油、化工、航空航天、材料力学、土木工程、医疗器械、爆破试验、液压试验等流体压力的测量。
性能参数 分档 A B C D
非线性/±%FS 1.00 0.50 0.20 0.10
不重复性、迟滞/±%FS 0.20 0.15 0.10 0.04
零位温度系数/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
灵敏度温度系数/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
零位时漂/%FS/8h 0.20 0.15 0.10 0.10
压力范围 传感器固有频率/Hz 变送器响应频率/Hz 典型应用
0-250,1000KPa 100,200K 0-20KHz,200K(max) 空气动力学
0-10,60MPa 300-750 0-100K 创伤医学
0-10,60MPa 180-600 0-100K 采油和发动机
0-40KPa,4MPa 50-300KHz 水轮机叶片冲击力
0-200KPa,10MPa 0-100KHz 高频土应力
该系列压力传感器、变送器是为满足用户在响应频率、外形结构、工作温度等方面特殊要求而设计的产品。以响应频率特点将其定义为微型探针型压力传感器、薄饼型压力传感器等,以耐温度特性将其定义为中高温压力传感器等。这种产品由于要满足用户的多重要求,变送器在结构上常常多采用分体式结构。
1.1概述
这个系列的传感器利用半导体硅极高的杨氏弹性模量和优良的力学特性制成,使传感器具有很高的固有频率,结合本公司先进的内部,外部结构设计,减小了频率损耗。从而获得很高的响应频率和上升时间,是测量高频动态压力的理想产品。
1.2 特点
高的频率响应个动态测量;宽的通频带;宽的工作温区;量程覆盖广;产品性能长期稳定性好。
1.3 使用场合
石油、化工、航空航天、材料力学、土木工程、医疗器械、爆破试验、液压试验等流体压力的测量。
1.4 传感器产品按性能参数分档表
性能参数 分档 A B C D
非线性/±%FS 1.00 0.50 0.20 0.10
不重复性、迟滞/±%FS 0.20 0.15 0.10 0.04
零位温度系数/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
灵敏度温度系数/X10-4/℃.FS 5.00 3.00 2.00 1.00
零位时漂/%FS/8h 0.20 0.15 0.10 0.10
1.5 传感器变送器的频率响应特性表
压力范围 传感器固有频率/Hz 变送器响应频率/Hz 典型应用
0-250,1000KPa 100,200K 0-20KHz,200K(max) 空气动力学
0-10,60MPa 300-750 0-100K 创伤医学
0-10,60MPa 180-600 0-100K 采油和发动机
0-40KPa,4MPa 50-300KHz 水轮机叶片冲击力
0-200KPa,10MPa 0-100KHz 高频土应力