备案信息

备案号：38895-2013

备案公告： 2013年第2号(总第158号) 2100433B

洁净室按气流的流动状态分

根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室 ：

（1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。

（2） 单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。

（3） 矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形高效过滤器，也可以用普通高效过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。

洁净室的流型基本上是上述三种类型，但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型，以在局部区域（单向流部分）实现高级别的洁净室。例如，在洁净室中设水平单向流的“隧道”（一侧敞开），洁净室的其余部分是涡流的单向流流型，从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度，工作台就设在“隧道内”。

洁净室按受控粒子的性质划分

（1）工业洁净室：受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。

（2）生物洁净室：受控粒子为生物粒子的洁净室。

一侧壁面满布高效过滤器，对应壁面作为回风墙，气流平行于顶棚和地板。水平单向流洁净室的气流流向与尘粒的重力沉降方向不像垂直单向流洁净室那样一致，因此水平单向流洁净室的断面风速应大于垂直单向流洁净室的断面风速，一般不得小于0.35m/s，否则将出现尘埃沉降现象。水平单向流洁净室回风埔ー般安装中效过滤器。但对于某些特殊用途的洁净室，知制药用洁净室、细菌培养用洁净室等，为避免操作过程中产生的特殊微粒和气溶胶污染管道系统或者为了回收这些微粒进行集中处理，则回风墙应布设高效空气过滤器。水平单向流洁净室的着价低于垂直单向流洁净室。

单向流洁净室的气流流速均匀、流线平行、空气中的粒子在该气流中也沿流线运动，不发生横向交叉，粒子以最短路径排除，室内不易形成紊流，可提供极高的洁净环境。但致命的弱点是，格栅地板或格栅回风墙造价高、顶棚或整个墙面满布高效空气过滤器成本高、换气次数大、运行费用和能耗较高，因此，应该开发具有单向流洁净室的功能但造价低的洁净室。

洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。