CMP 要求电线 阻燃电缆是指在规定试验条件下， 样品被燃烧， 在撤去试验火源后， 残焰或残灼在限定 时间内能自行熄灭的电缆。 阻燃电缆在火灾发生的情况下有可能被烧坏而不能运行， 但有时 能够减缓火灾蔓延， 为直接有效地扑灭火灾， 减少人员伤亡和财产损失创造有利条件。 阻燃 电缆的基本结构和普通电缆基本相同， 不同的是它的绝缘层、 护套、外护层以及辅助材料 (如 包带和填充 )可能部分或全部采用阻燃材料。 爱达讯布线工程师认为， 在综合布线系统中， 双绞线、 光缆最常见的材料就是聚氯乙烯 （PVC）、聚乙烯（PE）。PVC 和 PE 在火灾中分解、 氧化和燃烧时可以产生氯甲烷、 氯化氢、 苯、一氧化碳、 二氧化碳等多种有毒或腐蚀性产物，对人造成伤害。电缆涉及火灾安全的主 要技术指针是 电缆的阻燃性、烟雾的密度和气体的有毒性。 UL 标准组织定义了以下几个标准： CMP、CMR、CM、CMG

随着铜互连结构中低k介质的应用,要求CMP抛光过程中必须将压力减小到6.89kPa以下,传统的化学机械抛光已不符合当前的工艺要求,如何兼顾超低压力下抛光速率和速率一致性成为关键问题。对300mm Blanket铜膜进行了低压化学机械抛光实验,分析研究了碱性抛光液组分及抛光工艺参数对铜膜去除速率及其一致性的影响。通过实验可得,在低压力1kPa,流量200mL/min,转速30r/min,氧化剂体积分数2%,磨料体积分数30%,螯合剂体积分数3%时,抛光速率为330nm/min,表面非均匀性为0.049,抛光后表面粗糙度为0.772nm,得到了较为理想的实验结果。