清华大学电气新技术研究所着重开拓学科新方向，特别是现代信号处理理论在通信对抗中的应用，电磁场理论在电磁发射、核爆防护领域的应用，测量不确定度理论在航天传感器系统中的应用等军工科研新方向，大大突出了电工理论与新技术学科的特色，增强了科学研究、人才培养与国家重大需求的联系。“十五”期间共到款经费超过1300万元，其中包括主持和参加各1项国家自然科学基金重点项目，主持5项国家自然科学基金面上项目，9项国防“863”、“新概念武器”和“预先研究”项目，30多个来自工业界的项目；在通信对抗、电磁发射、超导应用、电能质量等重要科研领域取得一批有重要价值的成果；共发表学术论文230余篇，其中被SCI收录40篇，被EI收录论文83篇（与SCI收录重复的文章除外）；申请中国发明专利17项，已经授权专利10项；出版专著、教材和译著共12本。

清华大学电气新技术研究所在博士生培养方面获得1997年当年的国家教学成果特等奖（本所教授肖达川为获奖人之一）。1999年和2000年本所各有一篇博士论文获得电气工程学科当年的全国优秀博士学位论文奖（程志光、涂愈明），2004年获得一篇全国优秀博士学位论文提名奖（汪芙平）。“十五”期间本所共招收24名博士研究生，73名硕士研究生；毕业7名博士研究生，68名硕士研究生。毕业研究生中1名获得全国百篇优秀博士学位论文提名奖，2名获得清华大学优秀博士学位论文奖，6名获得清华大学优秀硕士学位论文奖，2名获得清华大学优秀博士毕业生称号。许多博士毕业生在北京大学、北京航空航天大学、东南大学、国防科技大学、海军工程大学、华东理工大学、清华大学、中国农业大学等大学任教，成为教学、科研和教育管理骨干。本所承担了全校电类专业“电路原理”（每年约35个班、1000学生）基础课程的教学工作。2005年该课程获北京市精品课称号。 2100433B

清华大学电气新技术研究所着重开拓学科新方向，特别是现代信号处理理论在通信对抗中的应用，电磁场理论在电磁发射、核爆防护领域的应用，测量不确定度理论在航天传感器系统中的应用等军工科研新方向，大大突出了电工理论与新技术学科的特色，增强了科学研究、人才培养与国家重大需求的联系。

简介

清华大学机械电子工程研究所成立于2013 年8 月30 日，是新机械系适应清华大学机械工程学科发展需要，为促进机械电子工程二级学科发展而建成。清华大学机械电子工程研究所目前有IC 装备、机器人、数控三个研究团队，在职教师20 名，其中IC装备团队入选科技部重点领域创新团队。所长朱煜教授入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，也是02 国家科技重大专项专家组副组长。

教学成果与人才培养

清华大学机械电子工程研究所致力于培养机械电子工程方向具有坚实基础理论和解决工程实际问题能力的优秀人才。近年来获得了丰硕教学成果，包括：北京市教育教学成果（高等教育）一等奖1 项，清华大学教学成果二等奖1 项，清华大学实验技术成果奖一等奖1 项、二等奖1 项，北京市高等教育精品教材1 项，清华大学优秀教材二等奖1 项。指导学生参加“中国机器人大赛暨RoboCup 公开赛”，共获得6 项冠军、3 项亚军和6 项季军。举办海峡两岸机器人邀请赛及学术交流会1 次。此外，多名老师先后获得清华大学优秀班主任一等奖。

学科方向

清华大学机械电子工程研究所有IC 制造装备及超精密测控、机器人与自动化技术及装备、先进数控技术与智能系统三个学科方向。在超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC 制造装备精密机电系统、机器人与仿生学、特种机器人技术及应用、航空制造数字化与自动化、机电数控技术及应用、流体传动及控制等领域开展教学与科研工作。建有IC 装备精密机械与测控工程研究中心、机器人与自动化实验室、航空航天自动化技术实验室、数控技术实验室等教学科研基地，还拥有工业机器人、纳米级超精密工作台、亚微米精度三坐标测量机、亚纳米分辨率双频激光干涉仪、500 平方米超净间等教学科研设施，为高水平教学和科研工作提供有力支持。

科研成果

清华大学机械电子工程研究所在极端制造装备、航空航天等国家主流行业具有重要影响力，共完成国家和企业科研课题70 余项，获国家和省部级奖3 项，军队科技进步奖1 项，已申请国内外发明专利150 余项，出版学术专著4 部，发表论文近400 篇，年均科研经费超过0.5 亿元。2005 年自主研制成功国内第一个10nm 精度同步运动实验台，2011 年研制了我国第一台可实现交换的光刻机双工件台，2013 年实现5nm 运动精度；2012 年面向国家航空航天领域重大需求，研制出具有国际先进水平的国内首台大型超长14 自由度冗余管道特种喷涂机器人系统；2013 年研制成功国际首个用于机床运动部件悬浮驱动的超导系统。以上进展为国家科技创新与发展做出了突出贡献。 2100433B

九十年代，实验室的建设与发展较快。1991年组建了清华大学房屋安全鉴定室，购置了性能优良的检测设备。1999年建成了大型结构实验室，添置了电液伺服实验系统和相应的试验数据采集系统，可进行足尺五层楼结构的拟动力试验与大跨度桥梁的试验。这一时期，除继续上述各项试验研究外，高强度与高性能混凝土、钢－砼组合结构及钢结构的试验研究较多。除此以外，建成了实验教学基地，供本科生结构试验课及钢筋混凝土结构和钢结构专题试验教学用。2100433B

岩土工程研究所承担着本科生《土力学》、《工程地质》、《地球与人类环境》、《城市水环境工程》、《城市岩土工程》以及研究生《高等土力学》、《环境岩土工程》、《土动力学与土工抗震工程》、《岩土灾害》等多门课程的教学任务，其中《土力学》系列课程被评为清华大学、北京市和国家级精品课，《高等土力学》为清华大学精品课。曾经获得多项教学成果奖。