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四管高温扩散炉

四管高温扩散炉是一种用于能源科学技术领域的工艺试验仪器，于2008年9月30日启用。

四管高温扩散炉基本信息

中文名四管高温扩散炉
产地中国
学科领域能源科学技术
启用日期2008年9月30日
所属类别工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

四管高温扩散炉主要功能

p型硅片表面扩散磷元素，形成结深0.3－0.5μm的p－n结。

四管高温扩散炉造价信息

市场价
信息价
询价

木质扩散体

规格型号：
品种:木质扩散体;规格(mm):600×600;材质:三胺;说明:金字塔型扩散板;厚度(mm):100;
价格行情：
材料单位：
片
材料品牌：
欧风
材料税率：
13%
供应商：
郑州欧风建筑装饰材料有限公司
报价时间：
2022-12-07

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木质扩散体

规格型号：
品种:木质扩散体;规格(mm):600×600;材质:全实木;说明:金字塔型扩散板;厚度(mm):100;
价格行情：
材料单位：
片
材料品牌：
欧风
材料税率：
13%
供应商：
郑州欧风建筑装饰材料有限公司
报价时间：
2022-12-07

查看价格

木质扩散体

规格型号：
品种:木质扩散体;规格(mm):600×600;材质:全实木;说明:椭圆型扩散板;厚度(mm):100;
价格行情：
材料单位：
片
材料品牌：
欧风
材料税率：
13%
供应商：
郑州欧风建筑装饰材料有限公司
报价时间：
2022-12-07

查看价格

木质扩散体

规格型号：
品种:木质扩散体;规格(mm):600×600;材质:木皮;说明:金字塔型扩散板;厚度(mm):100;
价格行情：
材料单位：
片
材料品牌：
欧风
材料税率：
13%
供应商：
郑州欧风建筑装饰材料有限公司
报价时间：
2022-12-07

查看价格

木质扩散体

规格型号：
品种:木质扩散体;规格(mm):1200×600;材质:木皮;说明:MLS扩散板;厚度(mm):150;
价格行情：
材料单位：
m2
材料品牌：
欧风
材料税率：
13%
供应商：
郑州欧风建筑装饰材料有限公司
报价时间：
2022-12-07

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加热炉

规格型号：
箱式RJX-75-9
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2006年1月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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加热炉

规格型号：
箱式RJX-45-9
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2005年1季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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混捏加热炉

规格型号：
小
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2012年2季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

混捏加热炉

规格型号：
小
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2012年1季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

混捏加热炉

规格型号：
小
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2011年2季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

高温炉

规格型号：
1、名称:高温炉2、功率:4KW 3、额定温度∶1000℃
需求量：
1套
报价数：
1
材料品牌：
琥珀朗石
材料档次：
中高档
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2022-11-28

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高温炉

规格型号：
最高温度:1000℃,功率:N=4kW
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2022-09-15

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JS1700-200井式高温炉

规格型号：
JS1700-200井式高温炉
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
高档
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2022-09-15

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扩散导光板

规格型号：
定制扩散导光板
需求量：
445m²
报价数：
1
材料品牌：
铭濠、自由之光、百家丽
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2022-06-14

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厢式高温气氛炉

规格型号：
主要参数:1、额定功率(KW):42、额定电压(:220★3、容积(L):34、炉罐材质及气路连接:多晶莫来纤维、卡箍快速连接★5、最高温度(:1300k6、控温精度():±17、温度控制:程序控温
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
天津中环电炉
材料档次：
高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2018-05-09

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四管高温扩散炉技术指标

加热温度范围：25℃---870℃。

四管高温扩散炉常见问题

光扩散管报价大概多少

好一点的2块就能买到的，质量很好的。用着很不错的。便宜一点的就5毛钱就能买到，质量吧，还行吧。建议买个好点的。
高温箱是高温炉吗
高温箱是高温炉吗

高温箱又叫高温老化试验箱，老化箱，高温烤箱，高温烘箱，热老化试验箱，高温箱用于各类电子产品及橡胶塑料等产品的热老化试验检测。材质：1、外箱材质：均采用优质（t=1.2mm）A3钢板数控机床加工成型，外...

四管高温扩散炉文献

CentrothermE2000铝沉积扩散炉工艺管安装

CentrothermE2000铝沉积扩散炉工艺管安装

CentrothermE2000铝沉积扩散炉工艺管安装

格式：pdf

大小：4.2MB

页数： 9页

http://www.eiitech.net 上海驰舰半导体科技有限公司 Installing the Process Tube of Alu-Depo Stack Summarized on 07/13 Version 1.0 Parts needed -quartz parts for thermocouple and tube case -ceramic heating insulation rings -cerapaper -vacuum O-rings -VCR gaskets Proceeds with photos as follows to install the process tube: 1. Wait until the heating cassette has cooled down to room temperature,then switch

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2012年太阳能扩散炉产业研究报告的数据调查方式

2012年太阳能扩散炉产业研究报告的数据调查方式

2012年太阳能扩散炉产业研究报告的数据调查方式

格式：pdf

大小：4.2MB

页数： 2页

北京恒州博智国际信息咨询有限公司 2012年太阳能扩散炉产业研究报告的数据调查方式《2012 年全球及中国太阳能扩散炉产业深度研究报告》是太阳能扩散炉产业中游领域专业和全面的深度研究报告，报告撰写人有着太阳能扩散炉行业的技术背景，对该行业的发展比较了解。本报告着重研究了全球以及中国的太阳能扩散炉市场，全面客观的反映目前全球及中国的太阳能扩散炉产业的现状，把脉中国太阳能扩散炉产业发展的脉搏。本报告首先介绍了太阳能扩散炉定义分类应用产业链结构扩散工艺产品技术参数成本价格关键技术等，然后全面介绍全球及中国太阳能扩散炉供销需现状及未来走势，同时对全球和中国 19 家太阳能扩散炉生产知名企业进行详细分析，重点介绍了各公司的产能产量成本价格利润利润率及技术设备和扩产情况；并对地区的太阳能扩散炉企业的产能产量进行了统计分析及研究总结，同时对太阳能扩散

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扩散炉类型

扩散炉有垂直扩散炉（vertical）和水平扩散炉（horizontal）两种类型。 垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，更加有利于机械手传送硅片，片内工艺参数一致性更好。 水平扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。

扩散炉基本结构

扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。 扩散炉控制系统 控制部分包括：温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。 系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。 辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。 较先进的扩散炉控制系统均已更新或升级到微机控制，管机与主机间通过串口RS232或网线进行通信。控制系统软件大多基于Windows系统，实用性和可操作性大大提高，能够实现日志记录，曲线记录，程序编辑，远程控制等多种功能。 扩散炉进出舟系统 水平扩散炉进出舟系统有两种方式：1）悬臂桨系统；2）软着陆系统。 悬臂桨系统结构比较简单，SiC桨携带舟和硅片进入石英炉管后，就停留在石英炉管内，直到工艺程序结束，SiC桨就携带舟和硅片慢慢回到原位，悬臂桨系统缺点是桨对炉管温度的均匀性有一定的影响，另外，工艺气体也会对桨沉积，影响颗粒。 软着陆系统较悬臂桨系统更加先进，SiC桨进入石英工艺炉管后，桨自动下沉放下石英舟和硅片，然后慢慢运行回原点，最后石英炉管的门自动关闭。软着陆系统优点是没有SiC桨对腔体的影响，使得温度均匀性更好，减少了工艺气体在SiC桨上的沉积，从而颗粒更少。 推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的右端安装有驱动步进电机，导轨的两端是限位开关。柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。 扩散炉炉体加热系统 炉体加热系统共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走,中间部分分四层放置四个加热炉体，每层由四个坡面支架托起并固定住加热炉体，其位置在安装时已经与推拉舟系统——丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨系统或软着落系统等对准中心。 扩散炉气体控制系统 气源柜分为五层。顶部设置有排毒口，用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口，接口以下安装有减压阀、截止阀，用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部装有质量流量（MFC）控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。

扩散炉应用

扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。 最新的低压磷扩散利用低压氛围可以得到更好的方块电阻均匀性和更大的生产批量，同时对环境的影响最小。 氧化工艺是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。 氧化方法有干氧和湿氧，湿氧包括水汽氧化和氢氧合成两种。

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