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THE STUDY OF THE IMPURITY IN HK FILM Yingming Liu 1* , Qiuming Huang1, and Haifeng Zhou1 1 ShanghaiHuali Microelectronics Corporation 568 GaosiRd., Pudongdistrict, Shanghai,China *Corresponding Author ’sEmail: liuyingming@hlmc.cn ABSTRACT As CMOS size scaling down, HKMG was introduced into CMOS manufacture process to replace Poly-SiON scheme earlier at 45nm node. In many HK materials, HfO2 was fin

组织机构表 页脚内容 1 编号： 上海车市国际汽车零部件采购中心基坑围护 施工招标文件 项目名称：上海车市国际汽车零部件采购中心基坑围护 招 标 人：上海车市实业发展有限公司 法定代表人或其委托代理人： 组织机构表 页脚内容 2 日期： 2010年 6月 10日 组织机构表 页脚内容 3 目录 第一章投标须知及投标须知前附表⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ ⋯⋯ 3 一 、 投 标须 知 前 附 表 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 3 二 、 投 标须 知 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 4 ( 一 ) 总 则 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ 4 ( 二 ) 招 标 文 件 说 明 ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯ ⋯