文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层

双输出移相器为相间功率控制器的重要组成部分,现有双输出移相器稳态电路模型未计及其2条等值支路阻抗间的相互影响。基于变压器基本原理,推导了双输出移相器的三序等值电路,指出两等值阻抗间存在互阻抗,且该互阻抗不可忽略。采用PSCAD4.2软件对含计及2条支路阻抗间互阻抗的双输出移相器等值电路的单机无穷大系统进行了仿真,仿真结果验证了该等值电路的正确性,可为双输出移相器建模研究提供参考。