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以金属铝和高纯氮气为原料PVT法生长氮化铝晶体的方法,涉及一种生长氮化铝晶体的方法。它是为了解决现有方法以氮化铝粉体生长氮化铝晶体导致杂质会影响晶体生长的技术问题。本方法:一、将金属铝填充到生长坩埚中,抽真空;二、升温至1800‑2000℃,充氮气至750torr,保温;三、然后升温至2100‑2300℃,将炉压抽至700torr,并控制氮气流量为100‑150sccm,生长氮化铝晶体;四、长晶过程结束后将炉压充回至750torr,降温,即得。本方法原料获取方便,通过长流气补充氮气,长流气可以带走挥发的碳杂质,避免氮化铝粉料的杂质和挥发碳对晶体生长的影响,提高晶体质量。本发明属于晶体制备领域。
申请人 |
哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
地址 |
150000黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区哈工大沿海创意科技港及物联网技术研发中心16号楼(创新路1616号)302-2室 |
发明人 |
不公告发明人 |
Int. Cl. |
C30B29/40(2006.01)I; C30B23/00(2006.01)I |
专利代理机构 |
哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙)23210 |
代理人 |
王艳萍 |
高纯氮气钢瓶需要进行内壁处理,更换高纯气体专用瓶阀,再经干燥、抽空置换处理合格后才能充装高纯氮。
有不同类别,价格也不尽相同,一般市场参考价为20元一根,铝管主要分为以下几种,按外形分:方管、圆管、花纹管、异型管按挤压方式分:无缝铝管和普通挤压管。按精度分:普通铝管和 精密...
2024铝合金 品牌:芬可乐 &n...
隔膜式压缩机在高纯氮气氩气生产中应用
马钢进行高纯氮气氩气研制开发,根据隔膜压缩机密封性能高、压缩比大、低流量压缩的工作特点,将隔膜压缩机应用于高纯氮气氩气生产中。以马钢高纯氮气氩气研制开发项目为例,分析隔膜压缩机工作机理及工作特点,简述马钢高纯氮气氩气隔膜压缩机选型,阐述隔膜压缩机设备安装调试过程,叙述隔膜压缩机开车操作方法,介绍隔膜压缩机开车及日常维护注意事项。
氮化铝陶瓷PCB基板及其金属化
介绍氮化铝电子陶瓷的性能,开发两种氮化铝金属化的工艺,得到的镀层与基体的结合力较传统工艺有提高,其成本具空镀和共烧法低得多。
工业生产中合成氮化铝有氮化铝还原氮化法和铝直接氮化法。另外,用于物理测试的AlN可采用氯化铝与氨反应法;高纯度AlN用电弧法制取。
铝直接氮化法:0.074mm的铝粉在铝球磨罐中,用煤油作介质,料球比1:3,磨125h后烘干,得到的高细分散的高纯铝粉为原料。在铝细粉中加入1%的LiF,(防止在高于660℃铝熔点时铝粉凝聚)。混合料装入石墨舟或刚玉舟、镍舟,送入碳管或氧化铝管作炉膛的电炉中。先在室温下。用氮气将炉膛清洗数小时,然后加热反应。反应用氮气经过干燥和脱氧净化处理。
氧化铝还原氮化法:以高纯度,小于0.5μm的氧化铝细粉与小于2μm的高纯度碳粉按重量比10:6配料,加入适量水,在刚玉球磨罐中均匀混合。将混合料干燥,碎成小块。装入石墨坩埚中,放进碳管电炉内,通入氮气反应。反应温度为1600?2000℃,保温4h。对于反应物中含的残碳,在干燥空气中于600?650℃热处理6h可除去。产物纯度较低。
氮化铝制品的制造
为防止氮化铝水解反应,先将氮化铝稳定化处理。小于0.074mm的氮化铝在0.1MPa下,氩气中1800?2000℃下,保温1.5h处理。然后磨至小于20μm的微粉。成型不宜用注浆法,以等静压法为好。在氮化铝粉中加入3?6%浓度为2.5%的酚醛塑料酒精溶液,充分混合后在50?60℃下干燥3?4h,以排除酒精溶剂,过0.25mm筛。混合料先预压,再进行等静压成型,压力250MPa以上。最后,埋体置于石墨匣钵中,在碳管炉中氩气气氛下加热到1950?2050℃,保温1?2h。为了促进烧结,常加入一些添加剂,如铁、钴、镍、钼等,以及氧化铍、氧化镁、氧化铝、氧化钇等。
氮化铝的特性和用途
氮化铝在常压下无熔点,在2450℃升华分解。其热震稳定性(耐2200℃?常温急冷急热)比氧化铝好。常温下,其机械强度低于氧化铝,在1400℃以上比氧化铝好。沸腾酸对氮化铝不腐蚀,但浓苛性钠溶液对其腐蚀。氮化铝还耐液态氧化硼侵蚀。
氮化铝制品可用作真空蒸发和熔炼金属的容器,金属熔池用浸入式热电偶保护套管等。
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重氮化方法有顺法和逆法两种。
1、顺法就是在色基中先加适量水调合,再加入规定量盐酸,在低温和不断搅拌下缓缓加入亚硝酸钠,使重氮化反应完成。色基大红G、色基橙GC与色基紫酱GBC都可采用顺法。重氮化温度为5~10℃,时间约10min,温度过高、时间过短,都不能得到较好的重氮化结果。为使重氮化反应完全,还需将色基重氮化溶液放置15min左右,临用前加适量的醋酸和醋酸钠。大多数溶于稀无机酸的芳伯胺采用此法重氮化。
2、逆法重氮化是将色基与亚硝酸钠和适量的冷水调成均匀糊状并加冰冷却,然后将它缓慢倾入不断搅拌的冰盐酸溶液中,使反应完成,色基红B等就是采用逆法重氮化的。在稀酸中难溶解的氨基芳磺酸等用此法重氮化。
3、亚硝酰硫酸法。用于在稀酸中难溶解的芳伯胺(碱性极弱)重氮化,即先将芳伯胺溶于浓硫酸或冰醋酸中,再向其中加入亚硝酰硫酸溶液。
图1为2017年5月以前的技术中的紫外AlGaNLED外延结构;
图2为《具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法》实施例1中的紫外AlGaNLED外延结构;
图3为《具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法》实施例2中的紫外AlGaNLED外延结构。
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