在半导体厂除了一般空调、通风换气系统外还有制程排气系统，因许多制程废气多属危险性、有害性物质，容易造成人员健康、毒害或火灾爆炸、环境公害等问题，所以在排气系统中安全性考量是很重要的，故在设置排气系统时应注意下列以下几点:

(1)腐蚀性排气风管应采用不可燃材料，其必须考虑风管材料耐火、烟及腐蚀。

(2) 除非管内输送之易燃性或易爆性之气体或烟熏浓度低于25%LFL，输送爆炸性或可燃性气体、烟熏、粉尘之管线要直接穿出建筑物且不能进入其他空间，管线亦不可插入其他管线或气室(Plenum)，对于不兼容物质之风管要分离或区别。腐蚀性排气管通常用玻璃钢风管，但此材质不适用于溶剂排气。

(3) 若同时有易燃性及腐蚀性物质汇入时， 应选用同时具抗腐蚀性与防火性管材。

(4) 因全部使用不锈钢全焊管，如有腐蚀性物质或可燃性+腐蚀性物质，则需注意管路受腐蚀状况，定期作泄漏检测。

(5) 管路虽采用不锈钢全焊管，但因该管路输送物质多为易燃性，故建议在主管路一次配管部分(管径大于300，)仍应加装自动洒水系统。

(6) 若采用PP材质于腐蚀性排气管路，建议大于(含)150直管段应使用自动洒水设备(NFPA 则规定为250(含)以上)，亦即采用洒水系统时，必须考虑初设成本与周期保养及洒水系统因误动作时(洒水头损坏)所造成的影响。

(7) 目前半导体产业应用的风管材质通常可分为两种，一是SUS304或SUS316L不锈钢全焊管，另一为SUS304、SUS316L全焊管内衬铁氟龙(ETFE或ECTFE等)。内衬特氟龙(ECTFE)是氟氯高分子化学品，具有优异的高热性、耐候性、绝缘性、耐蚀性、低燃性等特性，内衬特氟龙(ETFE)具有更高的附着力，耐高温度比ECTFE高50度左右，是目前电子行业的主要涂层原料。目前国内唯一一家拥有ETFE FM认证的企业只有上海点夺。不锈钢全焊管(SUS 304 或SUS 316L)因其优异的耐蚀性、耐热性、高强度。主要用于无尘室，半导体业，印刷电路板业，石化业，制药业，造纸业，食品加工等工业的一般排气系统，强酸碱排气系统，有机溶剂排气系统。