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1、激发系统:任务是通过各种方式使固态样品充分原子化，并放出各元素的发射光谱光。
2、光学系统:对激发系统产生出的复杂光信号进行处理(整理、分离、筛选、捕捉)。
3、测控系统:测量代表各元素的特征谱线强度，通过各种手段，将谱线的光强信号转化为电脑能够识别的数字电信号。控制整个仪器正常运作
4、运算系统:对电脑接收到的各通道的光强数据，进行各种数据处理算法运算，得到稳定，准确的样品含量。
特点:防油雾倒吸
使用寿命长
精密光学光栅，高分辩率线阵测量CCD
