机液伺服阀是将小功率的机械动作转变为液压输出量(流量或压力)的机液转换元件。机液伺服阀大都是滑阀式结构，在船舶的舵机、机床的仿形装置、飞机的助力器上应用最早。电液伺服阀是将电量转变成液压输出量的电液转换元件，出现于1940年。到50年代，这种元件的结构趋于成熟。随着电子技术和计算机技术的发展，电液伺服系统的性能得到显著改善，大大优于其他的液压伺服系统，因而得到广泛应用。电液伺服阀的内部结构可分滑阀位置反馈、载荷压力反馈和载荷流量反馈;阀的级数可分单级、双级和多级。在电液伺服阀中，将电信号转变为旋转或直线运动的部件称为力矩马达或力马达。力矩马达浸泡在油液中的称为湿式，不浸泡在油液中的称为干式。其中以滑阀位置反馈、两级干式电液伺服阀应用最广。图为电液伺服阀的工作原理。力矩马达在线圈中通入电流后产生扭矩，使弹簧管上的挡板在两喷嘴间移动，移动的距离和方向随电流的大小和方向而变化。例如挡板向右移近喷嘴时，就在主阀芯两端面上产生压力差推动主阀芯左移，使压力油口P S与载荷1口相通,回油口与载荷 2口相通。主阀芯左移的同时通过反馈杆对力矩马达产生的力矩和挡板的位移进行负反馈。因此，主阀芯的位移量就能精确地随着电流的大小和方向而变化，从而控制通向液压执行元件的流量和压力。气液伺服阀是将气动量转变为液压输出量的气液转换元件。

性能指标:流量(L/min)，最高压力(MPa)。