我国光伏电池技术是从上世纪60年代发展空间太阳电池起步的，低成本生产技术及生产能力在80年代中期逐步建立。上个世纪60年代由于国产装备技术落后，无法满足电池工艺生产，先后从国外引进了链式扩散设备。进入80年代我国电子工业专用装备取得长足进展，电池生产用扩散设备回到管式扩散。短短的6年时间，我国光伏专用扩散设备经历了从处理125mm x125mm,156mm x 156mn。方硅片向210mm x 210mm方硅片跃进;扩散的质量从原来的单片和整管扩散均匀性在7%以内的水平，提高到目前单片和整管扩散均匀性在4%以内的国际先进水毛扩散方式从原来的开管扩散到现在的环保、洁净、节能、安全的闭管扩散;单批次产能从原来的150片、200片、300片发展到目前的400片;控制方式从原来的手动、PLC半自动控制到目前的微机全自动控制。
近几年我国扩散设备的升级换代迅速发展，技术进步速度空前，但总体来说是先进与落后并存，总体技术水平与国际先进水平相比还存在一些差距，特别是设备自动化与局部细节方面。目前我国光伏电池装备市场上共有各类扩散设备800多管，其中85%左右以处理125mm x 125~电池片为主兼容156mm x 156mm电池片，这其中又有90%以上为微机自动控制设备，只有不到10%为手动或PLC半自动产品。
受国外光伏生产企业影响，目前国内有些光伏电池制造企业拟引进链式扩散生产设备，主要目的是适应大尺寸、薄硅片工艺，便于前后关联设备联接以形成流水线生产作业方式，减少在线操作员工，提高整线自动化水平。但由于技术原因，目前在国外该种配置也未形成规模，相应的工艺仍有待进一步摸索，进一步提升技术水平。
凭借国产扩散设备良好的可靠性、工艺先进性和高性价比优势，国内实力雄厚的设备研制企业的扩散设备已实现出口，受到东南亚及欧美客户的青睐，一旦技术服务网络建立，批量规模出口指日可待。
