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建设工程知识

感应耦合等离子体刻蚀机技术指标

2022/07/16201 作者：佚名
导读：刻蚀均匀性≤5％，金属刻蚀对氧化物及硅选择比≥3。

刻蚀均匀性≤5％，金属刻蚀对氧化物及硅选择比≥3。

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