1.一种纯度为99.99999％三氯氧磷的生产方法，包括以下步骤：

（1）复合络合剂A为以质量份计，将50-90份浓度为85-87％的磷酸、10-50份的磷酸二氢铵混合均匀，加热溶解配制而成；复合络合剂B为以质量份计，将40-90份浓度为85-87％的磷酸、1-10份的磷酸二氢铵、3-25份草酸、6-25份柠檬酸混合均匀，加热溶解配制而成；

（2）在99.5％工业级三氯氧磷与收集的一次蒸馏产生的100℃以前的和107℃以后的重组分中，其中：三氯氧磷:低沸物:重组分＝1:0-0.5:0-0.5，加入其质量1～4％的复合络合剂A，控制温度范围为20～50℃，充分搅拌，反应40-60分钟，然后蒸馏取100～107℃馏分得到一次蒸馏品，收集一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；

（3）将收集的二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各5.5-11份、与一次蒸馏品78-89份加入搪瓷反应釜中，加入三氯氧磷质量1～5％的复合络合剂B，控制温度范围为25～50℃，充分搅拌，反应40-100分钟，然后经沉积分层，取上层清液过滤，滤液进行蒸馏，取100～107℃馏分得二次蒸馏品，收集二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；

（4）将二次蒸馏品进行精馏，得到99.99999％的电子级三氯氧磷，在洁净环境为局部百级的包装环境下，耐蚀洁净石英源瓶或高纯PFA容器包装得到成品电子级三氯氧磷。

2.如权利要求1所述的纯度为99.99999％三氯氧磷的生产方法，其中：配制复合络合剂所用磷酸二氢铵、草酸、柠檬酸中的铁、铜、铅、砷杂质含量不超过5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二级标准要求。

3.如权利要求1或2所述的纯度为99.99999％三氯氧磷的生产方法，其中：过滤采用0.1微米PVDF过滤器；蒸馏采用石英蒸馏器。

4.如权利要求3所述的纯度为99.99999％三氯氧磷的生产方法，其中：除原料和一次蒸馏品为便于添加复合络合剂A和B使用搪瓷反应釜进行搅拌外，其余设备容器均为高纯石英或高纯PFA等洁净并耐蚀的材质制成。