详见原档

1台

1.工作区尺寸(W×H×L):200mm×200mm×300mm 2.装载重量:≥30kg 3.最高温度:≥1600℃ 4.温度均匀性:≤±3℃ 5.加热功率:≥40kw ▲6.极限真空度:6.6×10-3pa 7.压升率:≤0.67Pa/h

1台

工作区尺寸(W×H×L):200mm×200mm×300mm、极限真空度:6.6×10-3pa

1台

系统开发及模块安装

1项

详见原档

1台

6.最大压力:≥20T 7.压力波动:≤±0.1MPa、位移精度0.02mm 8.压力行程:0-10mm(数显) 9.冷态极限真空度:6.67×10-3Pa 10.压升率:≤3.0Pa/h 11.

1台

详见原档

1台

额定功率:≥40kw、最大压力:≥20T、压升率:≤3.0Pa/h

1台

1.容量:≥25kg 2.最高工作温度:≥1600℃ 3.中频电源额定功率:100kw 4.中频电源额定频率:2500Hz 5.极限真空度(空炉、冷态下):6.67×10-2Pa 6.压升率(空炉

1台

容量:≥25kg、最高工作温度:≥1600℃、极限真空度(空炉、冷态下):6.67×10-2Pa

1台

子系统及功能组件(报警功能)

1台

信息引导及发布系统接口

1项

Q=3m3/min,N=4.0kW

1套

Q=100m3/h最大真空度:84%N=3kw

1套

子系统及功能组件(入户装置无线采集监控系统)

1台