处理量≤0.5Nm3/h,工作压力≤1.0MPa,出气纯度≥99.9999%(空气出气纯度≥99.999%);

4个

催化吸附式,40M3/H,纯化精度:9N

1台

催化吸附式,40M3/H,纯化精度:9N

1台

1.名称:纯化系统 2.主要技术参数及包括的内容:(1)进水手动隔膜阀:尺寸:DN25 材质:SS304 1只(2)进水黑二通:尺寸:DN25 材质:SS304 1个(3)纯化过滤器:型号

4套

纯化水储罐:2m3;纯化水输送泵流量:10m3/h;纯化水输送泵扬程:80m;电量(kW):380v 4kW.

4台

纯化水储罐:2m3;纯化水输送泵流量:8m3/h;纯化水输送泵扬程:80m;电量(kW):380v 4kW.

8台

纯化水储罐:2m3,材料:不锈钢 纯化水输送泵流量:10m3/h纯化水输送泵扬程:80m (主要介质纯化水,常温,0.3MPa,4KW/380V主要介质饱和蒸气压,143℃,0.3MPa,接管管径DN40主要介质循环冷冻水,7℃,0.3MPa,接管管径DN50)

3套

进口树脂,UP6150,出水电阻率15-18.25兆欧

3套

KL-UP-IV-5抛光树脂,出水电阻率10-18.25MΩ/cm

2个

KL-UP-IV-5抛光树脂,出水电导率低于5us/cm

2个

内置0.003微米颗粒过滤器,用于氩气、氦气常规气体流量:40SLM

1个

IPAK Quanta® polishing cartridge

3根

C04-PWT-1201,V=6m3/h,详见图纸

1套

QYCC-10

1个

IPAK Meta® polishing cartridge

3根