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处理量≤0.5Nm3/h,工作压力≤1.0MPa,出气纯度≥99.9999%(空气出气纯度≥99.999%);
用量：4个
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催化吸附式,40M3/H,纯化精度:9N
用量：1台
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催化吸附式,40M3/H,纯化精度:9N
用量：1台
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1.名称:纯化系统 2.主要技术参数及包括的内容:(1)进水手动隔膜阀:尺寸:DN25 材质:SS304 1只(2)进水黑二通:尺寸:DN25 材质:SS304 1个(3)纯化过滤器:型号
用量：4套
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纯化水储罐:2m3;纯化水输送泵流量:10m3/h;纯化水输送泵扬程:80m;电量(kW):380v 4kW.
用量：4台
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纯化水储罐:2m3;纯化水输送泵流量:8m3/h;纯化水输送泵扬程:80m;电量(kW):380v 4kW.
用量：8台
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纯化水储罐:2m3,材料:不锈钢 纯化水输送泵流量:10m3/h纯化水输送泵扬程:80m (主要介质纯化水,常温,0.3MPa,4KW/380V主要介质饱和蒸气压,143℃,0.3MPa,接管管径DN40主要介质循环冷冻水,7℃,0.3MPa,接管管径DN50)
用量：3套
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进口树脂,UP6150,出水电阻率15-18.25兆欧
用量：3套
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试验容器 90L
用量：100套
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试验容器 120L
用量：100套
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KL-UP-IV-5抛光树脂,出水电导率低于5us/cm
用量：2个
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KL-UP-IV-5抛光树脂,出水电阻率10-18.25MΩ/cm
用量：2个
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内置0.003微米颗粒过滤器,用于氩气、氦气常规气体流量:40SLM
用量：1个
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试验消火栓
用量：1台
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试验消火栓
用量：1个
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