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浅谈半导体净化空调的设计及应用
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随着社会的不断进步,对电子产品的需求也是与日俱增,从而推动了半导体行业飞速发展。随着制造工艺不断进步,对空气洁净技术和温湿度等环境参数的控帑3也是愈发严格。文章从洁净室空调系统、空气洁净技术、热湿处理、应用场合并结合工程实例进行阐述,对相关的工程设计和应用方案选择进行探讨。
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