Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究
本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40%HF腐蚀实现玻璃通孔。整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片级批量加工。观察并研究纵向和横向腐蚀过程和通孔形貌,对比三种不同腐蚀掩膜掩蔽效果。本文研究结果为圆片级密封封装及其它MEMS器件奠定了基础。
株玻夹丝玻璃通过国家级验收
最近,株洲玻璃厂夹丝玻璃技术引进改造项目及其新产品通过了国家级验收。株玻的夹丝玻璃生产线是引进日本国板硝
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