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等离子射频
TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整
TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的维 修及调整 TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用， DC Power Supply Board 板是一块电源板提供射频源 工作所需的各路电源，包括电子管工作的高低压。 OSICLACTOR Board 板提供 射频源的激励信号， Q1是震荡管，Q4是推动管，Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。 V1和 V2是两个输出电子管，提供所需的射频功率。其中 Lv 是低压变压器，机 器一通电，该变压器就被通电。而 BV 是高压变压器，只有在需要射频输出时才 被通电。 Power Coupler 是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器 R5 和 R6 用于矫正入射和反射功率的偏差。 Test Port 测试端口用于检测射频电 源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下： 1. 关闭交流电源。 2. 移除射频电源
双潘宁离子源等离子体发生器电源系统
双潘宁离子源等离子体发生器电源系统
针对强流双潘宁离子源等离子体发生器电源系统的特殊要求,介绍了灯丝电源和弧电源的组成及其作用,并对其主电路设计思路进行了相关的分析。离子源等离子体放电实验结果表明,该套等离子体电源系统达到了设计指标要求。