多晶硅太阳能电池生产工艺
太阳能电池光电转换原理主要是利用太阳光射入太阳能电池后产生电子电洞对,利用 P-N接面的电场将电子电洞对分离 ,利用上下电极将这些电子电洞引出, 从而产生电流。 整个 生产流程以多晶硅切片为原料, 制成多晶硅太阳能电池芯片。 处理工艺主要有多晶硅切片清 洗、磷扩散、氧化层去除、抗反射膜沉积、电极网印、烧结、镭射切割、测试分类包装等。 生产工艺主要分为以下过程: ⑴ 表面处理(多晶硅片清洗、制绒) 与单晶硅绒面制备采用碱液和异丙醇腐蚀工艺不同,多晶硅绒面制备采用氢氟酸和硝 酸配成的腐蚀液对多晶硅体表面进行腐蚀。 一定浓度的强酸液对硅表面进行晶体的各相异性 腐蚀,使得硅表面成为无数个小“金字塔”组成的凹凸表面,也就是所谓的“绒面” ,以增 加了光的反射吸收,提高电池的短路电流和转换效率。从电镜的检测结果看,小“金字塔” 的底边平均约为 10um。主要反应式为: 3 2 23 4HNO 4NO
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