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2025.01.04

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氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布 氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布

氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布

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用测试抗弯强度的方法测定了氮气氛下直拉硅(NCZ-Si)棒轴向机械强度分布。与红外分析结果比较表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 对的浓度对硅棒强度分布起着比间隙氧更重要的作用。碳浓度达2×10~(17)cm(-3)时,对硅棒强度无显著影响。

氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布 氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布

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用测试抗弯强度的方法测定了氮气氛下直拉硅(NCZ-Si)棒轴向机械强度分布。与红外分析结果比较表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 对的浓度对硅棒强度分布起着比间隙氧更重要的作用。碳浓度达2×10~(17)cm(-3)时,对硅棒强度无显著影响。

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