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硅片清洗机
基于PLC的硅片清洗机电气控制系统设计题目说明及任务 (2)
基于 PLC 的硅片清洗机电气控制系统设计题目说明及任务 太阳能光伏产业的迅速发展，使得我国太阳能硅片清洗设备的发展举世瞩目，并呈现稳 定增长势头。伴随着硅片的大直径化 ,器件结构的超微小化、高集成化 ,对硅片的洁净程度、 表面的化学态、 微粗糙度等表面状态的要求越来越高， 主流工艺已经在从 90nm向 65nm过渡。 太阳能电池板铝边框冲孔模设计高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破 坏和损伤 ,减少溶液本身或工艺过程中带来的玷污。 而太阳能清洗设备也正向着小型化、 非盒 式化及一次完成化方向发展 ,以减少工艺过程中的玷污 ,满足 90nm乃至 65nm级器件工艺的要 求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战 ,传统的清洗方法已不能满足要 求。 江苏林洋新能源有限公司采用的是深圳捷佳创精密设备有限公司的硅片清洗设备， 本设备 是一个全自动的处理设备，清洗过程由欧
基于PLC的硅片清洗机电气控制系统设计题目说明及任务
基于 PLC 的硅片清洗机电气控制系统设计题目说明及任务 太阳能光伏产业的迅速发展，使得我国太阳能硅片清洗设备的发展举世瞩目，并呈现稳 定增长势头。伴随着硅片的大直径化 ,器件结构的超微小化、高集成化 ,对硅片的洁净程度、 表面的化学态、 微粗糙度等表面状态的要求越来越高， 主流工艺已经在从 90nm向 65nm过渡。 太阳能电池板铝边框冲孔模设计高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破 坏和损伤 ,减少溶液本身或工艺过程中带来的玷污。 而太阳能清洗设备也正向着小型化、 非盒 式化及一次完成化方向发展 ,以减少工艺过程中的玷污 ,满足 90nm乃至 65nm级器件工艺的要 求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战 ,传统的清洗方法已不能满足要 求。 江苏林洋新能源有限公司采用的是深圳捷佳创精密设备有限公司的硅片清洗设备， 本设备 是一个全自动的处理设备，清洗过程由欧