精品文献
硅烷废气处理
三氯氢硅废气处理系统改造技术
通过更换尾气吸收塔，增加塔高，提高循环泵的功率、扬程、流量，增加喷头的数量，增加中和池等，改善了尾气吸收塔堵塞的状况，并解决了由此带来的安全和环境问题。
多晶硅生产中废气处理工艺改造
多晶硅生产中废气的处理方法主要有水洗法、焚烧法和碱液淋洗法.水洗法是多晶硅厂最传统的废气处理方法,是通过大量的喷淋水吸收废气中氯化氢和氯硅烷,该方法资源浪费量巨大,同时存在重大的安全隐患,现在已基本不使用.焚烧法是将废气进行高温燃烧和水解,得到二氧化硅和盐酸,该方法因前期投资过大、设备要求过高、工艺复杂、运行成本高等原因,其应用受到限制.碱液淋洗法因其工艺简单、投资和运行成本较低、处理效果好等优点,成为目前多晶硅厂最常用的废气处理方法.