LED碳化硅衬底基础概要
LED 碳化硅衬底基础概要 碳化硅又称金钢砂或耐火砂。碳化硅是用石英砂、石油焦 (或煤焦 )、木屑 (生产绿色碳化硅时需要加食盐 )等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。碳化硅主 要分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,均为六方晶体,比重为 3.20~3.25,显 微硬度为 2840~3320kg/mm2 。其中:黑碳化硅是以石英砂,石油焦和优质硅 石为主要原料,通过电阻炉高温冶炼而成。其硬度介于刚玉和金刚石之间,机 械强度高于刚玉,性脆而锋利。绿碳化硅是以石油焦和优质硅石为主要原料, 添加食盐作为添加剂,通过电阻炉高温冶炼而成。其硬度介于刚玉和金刚石之 间,机械强度高于刚玉。 碳化硅的硬度很大,具有优良的导热和导电性能,高温时能抗氧化。可以 作为磨料,可用来做磨具,如砂轮、油石、磨头、砂瓦类等。还可以作为冶金 去氧剂和耐高温材料。碳化硅主要有四大应用领域,即 : 功能陶瓷、高级耐火 材料、磨料及冶金
Si衬底GaN基蓝光LED钝化增透膜研究
在Si衬底GaN基蓝光LED芯片上生长了一层SiON钝化膜,使器件的光输出功率提高12%且有效降低了器件在老化过程中的光衰。对有、无钝化膜的样品进行性能比较,结果表明SiON钝化膜能有效隔离环氧树脂与高温芯片,缓解环氧树脂的老化变黄;又能部分弛豫环氧树脂对芯片的张应力,降低非辐射复合中心产生的几率;有效减小器件的侧壁漏电通道,降低器件的光衰和漏电流,提高器件的可靠性。
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