无尘室的天花板、地板及墙
無塵室的天花板、地板及牆 無塵室有五個特性 : (l) 耐久性。(2)成本。 (3) 適應性。 (4) 可維護性 。 (5)清洗 。 (1)耐久性: 無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統 的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇 鋁,基於它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。 (2)清洗: 在製藥和生物工學工業,無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止 濾過性病毒或細菌的污染之特性。在 biotech 市場,清洗真正地是一個最重要 的企業。 (3)成本: 微電子 C/R 建設費可能花費到$10 億。fab 能更快的被建造起來,產品也就 能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 " 錢" 將 成為一個很重要的考慮因素。 (4)適應性: 一些廠商認為適應性可節省一筆金錢 ,而適
无尘车间百级送风天花的设计
洲上净化 1 无尘车间百级送风天花的设计 百级送风天花即满布高效过滤器的送风顶棚, 有多种形式, 本设计采用液槽密封形式的 送风天花。目前,液槽密封结构有两种形式。其一,高效过滤器上装,即带液槽的高效过滤 器从上部装入与之配套的框架刀口上, 依靠高效过滤器边框液槽内的密封胶与框架刀口来实 施对气流的密封。这种结构需要的静压箱高度较大,否则,高效过滤器调转不开。 虽然高效 过滤器在刀口框架上方, 但并非在吊顶夹层内安装, 而是在洁净室内把高效过滤器穿过框架 口伸入静压箱后再转向放于框架的刀口上。所以, 夹层空间小的话,高效过滤器转不开。 其 二,高效过滤器下装,即高效过滤器带液槽的边在下方, 带刀口的框架位于液槽的上方, 与 第一种情况正好相反, 框架的刀口向下, 把高效过滤器伸入静压箱内, 液槽边在刀口正下方, 用压件托住高效过滤器, 使其边框液槽与刀口接触来密封空气, 高效过滤器的重量
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