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旋片真空泵极限真空
贯穿式旋片真空泵的性能计算与实验分析
贯穿式旋片真空泵的性能计算与实验分析
介绍了贯穿式旋片真空泵的结构及工作原理,建立了贯穿式旋片真空泵的几何模型,讨论了贯穿式旋片真空泵泵腔型线的建立以及工作腔的容积计算,精选了贯穿式旋片真空泵的性能计算,包括抽速、极限真空度以及真空度与时间的关系。最后测试某一贯穿式旋片真空泵的抽气性能,将测试值与计算值进行对比分析,验证了建立的贯穿式旋片真空泵性能的计算方法。关于贯穿式旋片真空泵的几何分析以及抽气性能的计算,对贯穿式旋片真空泵的设计分析具有一定的参考意义。
旋片式真空泵
单级旋片泵结构与工作原理 时间 :2008-09-07 来源 :真空技术网整理 编辑 :真空技术网 单级旋片泵只有一个工作室。泵主要由定子、旋片、转子组成。在泵腔内偏心地装 有转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力作用而紧贴于缸壁 (转动后还有旋片离 心力 )。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。 图 5：单级旋片式真空泵工作原理图 当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体， 同时逐渐 缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气阀排出。 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。 泵油通过油孔及排气阀进入泵腔， 使泵腔内所 有的运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封。 双级旋片泵的结构与工作原理 时间 :2008-09-07 来源 :真空技术网整理 编辑 :真空技术网 单级旋片泵 一般极限压力只能达到 1.3Pa( 个别可达 0.1Pa)，为什么极限