低腐蚀隧道密度高品质人造压电石英晶体的生长
压电石英元器件正向高频、小型化、片式化等方向发展,对人造石英晶体材料的品质提出了新的要求,当选用低位错的晶体作晶种,生长时提高控温精度,配以优化的工艺条件,可以培养出这类高品质的人造石英晶体,与此同时,假如用多次重结晶的人造石英晶体代替熔炼石英作原料,可以提高晶体的纯度,从而提高元器件的耐辐照性能。
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压电石英元器件正向高频、小型化、片式化等方向发展,对人造石英晶体材料的品质提出了新的要求,当选用低位错的晶体作晶种,生长时提高控温精度,配以优化的工艺条件,可以培养出这类高品质的人造石英晶体,与此同时,假如用多次重结晶的人造石英晶体代替熔炼石英作原料,可以提高晶体的纯度,从而提高元器件的耐辐照性能。
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