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中国机械工程学报
中国机械工程学会-中国机械工程学会
中 国 机 械 工 程 学 会 优 秀 论 文 奖 获 奖 名 单 （98 篇） 编 号 论 文 名 称 作 者 铸 造 分 会 2007-3-001 平面流铸雾化制粉技术的开发 向青春 王 坦 李荣德 2007-3-002 Cu-55Sn亚包晶合金的定向凝固组织研究 吕海燕 李双明 刘 林 2007-3-003 钛合金冷坩埚电磁约束铸造工艺研究 陈瑞润 丁宏升 毕维生 2007-3-004 湿型铸铁件生产中一些与型砂有关的问题解答 于震宗 2007-3-005 中国铸造工业发展前景展望 缪 良 生 产 工 程 分 会 2007-3-006 基于快速有限元分析的冲压件毛料展开 徐国艳 高 峰 杜发荣 2007-3-007 薄壁塑件注塑成形特性的试验研究 宋满仓 颜克辉 赵丹阳 2007-3-008 镁合金精整表面的砂带磨削力测试
机械工程学报
机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 衬底三维温度场有限元法模拟 * 徐 锋 左敦稳 卢文壮 李 磊 王 珉 (南京航空航天大学机电学院 南京 210016) 摘要： 热丝化学气相沉积 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制备金刚石薄膜设备简单，成本低 廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产，其中衬底温度是沉积高质量 CVD 金刚石膜的重要参数之一。基于此， 首先分析大面积 HFCVD 系统的热交换过程，建立大面积 HFCVD 系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯 热辐射模型相比，本模型更加接近实际系统，并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模