三波长光干涉法测量磁盘/磁头纳米级气膜厚度

对应用散射干涉法测量镀膜介质平板厚度进行了实验研究,给出了条纹级数和测量距离影响实验结果的关系曲线.

激光干涉仪测量方法

根据劈尖等厚干涉原理，采用读数显微镜作为新的测量手段，研制了磁致伸缩系数测量装置，精确测量铽镝铁合金和q235碳素结构钢在弱磁场中的磁致伸缩系数．该装置具有测量方法简单、直观，且精度很高的特点．

桥梁振动的激光干涉测量方法——为了实现对新建桥梁的质量检测及现有桥梁健康状况的定期检查，分析和评估桥梁结构振动特性，掌握抗震性能变化情况和趋势，本文提出了激光干涉测量桥梁振动频率的方法，克服了现有测量方法精度低、电磁干扰大、传输距离受限等缺点...

实验室测量金属的线胀系数普遍采用的是光杠杆法,经实验证明光杠杆法存在偶然误差大、测量精度低、占地空间大等问题,通过利用劈尖的等厚干涉法能够很好地解决光杠杆法存在的问题.新方法具有温升范围小、加热功率低、测量精度高、操作简单直观、占地空间小等优点,便于实际教学中教师的讲解、示教和演示,有利于学生综合应用知识,提高综合设计实验的能力.

分析了用相干光测量细丝直径的原理和方法,分别用钠光和氦氖气体激光测量并计算出同一金属细丝的直径,计算和分析了测量误差,研究和比较了两种光源对测量误差的影响.

根据劈尖等厚干涉原理，采用读数显微镜作为新的测量手段，研制了磁致伸缩系数测量装置，精确测量铽镝铁合金和q235碳素结构钢在弱磁场中的磁致伸缩系数．该装置具有测量方法简单、直观，且精度很高的特点．

用白光干涉仪自动测量金刚石砂轮表面形貌时,为了获得更精准的干涉区域,在干涉仪所采集到的一系列图像中,首先通过计算相邻的2张图像各像素灰度值的变化从而得到一系列新的灰度图像。然后计算每帧新图像的非零点像素的均值和极值,据此计算得出用于确定干涉区域的阈值以实现自动扫描。实验表明:此方法运算速度较快,而且对局部区域的干涉更敏感,可以更精确地搜索出干涉区间。采用步进电机和压电陶瓷二级驱动,可以在100s内实现100μm范围内扫描区间的自动获取并实现垂直方向的数据采集。

研究了气溶胶粒子的光热敏效应和热感应光致折射率变化,提出了通过增加光热作用区个数来提高探测灵敏度及用低相干干涉法降低成本的方法。建立了光热低相干干涉法测量大气气溶胶吸收系数的数学模型,分析了干涉仪正交状态测量和干涉条纹细分探测两种方式下的探测灵敏度,讨论了低相干偏振干涉情况下的探测限。结果显示,在典型条纹细分情况下理论探测灵敏度可达1×10-6m-1;增加光热作用区m个,探测灵敏度理论值可提高m倍。理论和方法研究证明光热低相干干涉法具有可直接测量大气气溶胶吸收系数、在线原位、低成本,易于进行温度修正等优点。

sj6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高 精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机 控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分 钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜 组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 sj6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范 围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测， 可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨 的动态特性分析等，具有极高的精度

根据光学中杨氏双缝干涉实验原理设计出超声波双缝干涉测量声速的实验装置.运用波的干涉原理,将声波接收器接收到的干涉信号输入到示波器,通过示波器来显示干涉极大和干涉极小现象,利用分光计的双游标读数原理测量干涉极大和干涉极小对应的θ角.通过实验数据计算得出干涉极大和极小对应的声速分别为(336.2±0.3)m/s,(338.8±0.2)m/s.

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激光干涉原理在振动测量中的应用 引言 振动量值的计量是计量科学中一个非常重要的方面。在现实中，描述振动特性的最常用 的量值是位移、速度、加速度。常用的测振技术是接触式测量。在测量物体上安装加速度传 感器，利用加速度传感器的电荷输出信号实现加速度-速度-位移的相关测量。如果测量较小 物体的振动，附加的传感器质量往往影响被测物体的振动，从而产生测量误差；而且一些工 作场合因被测物体表面影响或是测量条件的限制往往不允许在被测物体表面安装测振传感 器。因此设计和开发新型的非接触式、高精度、实时性的测振技术一直是工程科学和技术领 域中的重要任务。 由于激光的方向性、单色性和相干性好等特性，使激光测量技术广泛应用于各种军事目 标的测量和精密民用测量中，尤其是在测量各种微弱振动、目标运动的速度及其微小的变化 等方面。 1激光干涉测振原理 激光干涉测振技术是以激光干涉原理为基础进

为直接测量霍普金森压杆加载下试样径向应变位移,提出了一种稳幅输出的新型全光纤位移干涉技术。该技术采用半导体光放大器与掺饵光纤放大器的组合对来自试样表面的反射光进行动态饱和式放大。理论研究表明,该新型全光纤位移干涉仪能够输出振幅稳定的干涉信号,消除试样表面反射光强变化对位移测量精度的影响。实验结果表明,新型全光纤位移干涉仪能够实现对霍普金森压杆加载下试样弹性应变和塑性应变的高精度非接触测量。

文章编号:025322239(2007)082143025 基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量3 禹延光　郭常盈　叶会英 (郑州大学信息工程学院,郑州450052) 摘要:　光反馈自混合干涉技术是一种新浮现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术。为了在适度光反馈 下进行振动的精密测量,提出了一种基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量方法。经对光反馈自混合干涉信 号条纹分析,发现通过选定合适的光反馈水平及激光器线宽展宽因数,可以得到锯齿干涉条纹。这种干涉信号不 仅包含振动幅度信息也包含振动方向信息。该振动测量方法利用锯齿干涉条纹的特点,首先通过条纹记数实现大 范围振幅粗测,具有半波长位移分辨力;然后基于适度光反馈下小数条纹的特点,给出了小于半波长位移测量的线 性表达式,从而实现位移的精测。仿真计算表明,该方法可以实现大量程高分辨力振动位

运用光的干涉理论,分别讨论了点光源在楔形平板情况下的干涉条纹及光强分布,并推导出测量平板楔角的一种新方法。运用该方法时平板楔角进行了测量,获得了精确的结果(不确定度<10-5)。

为直接测量霍普金森压杆加载下试样径向应变位移,提出了一种稳幅输出的新型全光纤位移干涉技术。该技术采用半导体光放大器与掺饵光纤放大器的组合对来自试样表面的反射光进行动态饱和式放大。理论研究表明,该新型全光纤位移干涉仪能够输出振幅稳定的干涉信号,消除试样表面反射光强变化对位移测量精度的影响。实验结果表明,新型全光纤位移干涉仪能够实现对霍普金森压杆加载下试样弹性应变和塑性应变的高精度非接触测量。

介绍了一种基于白光干涉色的色调值计算零级波片延迟量的方法,在白光正交偏振系统中,利用hsv色度系统分析白光干涉色,得到干涉色图像的色调值,并使用soleil-babinet补偿器标定不同延迟量和其对应的白光干涉色的色调值之间的定量关系,从而实现了根据白光干涉色的色调值计算延迟量的目的。在补偿器丝杆步进位移0.02mm的情况下,延迟量标定精度为0.95nm。实验测量了一块565nm的零级全波片,所得结果与使用分光光度计测量的结果相吻合。结果表明:光源光强不稳定及波片光轴方位角的变化对延迟量测量影响很小。

精密位移量的激光干涉测量方法及实验 一、实验目的： 1．了解激光干涉测量的原理 2．掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法 3．了解激光干涉测量方法的优点和应用场合 二、实验原理 本实验采用泰曼－格林（twyman-green）干涉系统，t－g干涉系统是著名的迈克尔逊 白光干涉仪的简化。用激光为光源，可获得清晰、明亮的干涉条纹，其原理如图1所示。 he-ne激光器 扩束准直系统 m1（参考镜） m2（测量镜） 干涉条纹 l1 l2 d bs l /2 图1t－g干涉系统 激光通过扩束准直系统l1提供入射的平面波（平行光束）。设光轴方向为z轴，则此平 面波可用下式表示： ikzaezu)((1) 式中a平面波的振幅，2k为波数，激光波长 此平面波经半反射镜bs分为二束，一束经参考镜m1，反射后成为参考光束，其复振 幅u

物体微小振动光学干涉测量方法的研究 作者：张涛 学位授予单位：北京交通大学 本文读者也读过(9条) 1.王小芳四波耦合微振动光学测量的研究[学位论文]2006 2.周晓辉.杨耀权.卢海霞.杨丽一种非接触振动测量方法的设计与实现[期刊论文]-仪器仪表与分析监测2005(4) 3.苏铁基于dsp控制的光子美容机的研制[学位论文]2010 4.雷和平非线性光干涉测量微小振动方法的研究[学位论文]2009 5.郭广平.计欣华.秦玉文.杜家吉微振动测量的光外差干涉仪[会议论文]-2000 6.王冬云.杨国光镜像光衍射技术及其在测量中的应用[期刊论文]-光学学报2001,21(9) 7.于浩ccd相机测量对比度的校正方法研究[学位论文]201

正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究文档信息

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现0.1微米即 0.1ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（1微米比一根头发的1/25还细。由于太细，所以肉眼无 法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表 明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低10-100倍）。实现1微米的测量分 辨率很容易，但要得到1微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文