气相法，又称热解法、干法或燃烧法。其原料一般为四氯化硅、氧气(或空气)和氢气，高温下反应而成。反应式为:SiCl4+ 2H2+ O2->SiO2+4HCl。空气和氢气分别经过加压、分离、冷却脱水、硅胶干燥、除尘过滤后送入合成水解炉。将四氯化硅原料送至精馏塔精馏后，在蒸发器中加热蒸发，并以干燥、过滤后的空气为载体，送至合成水解炉。四氯化硅在高温下气化(火焰温度1000~1800℃)后，与一定量的氢和氧(或空气)在1800℃左右的高温下进行气相水解;此时生成的气相二氧化硅颗粒极细，与气体形成气溶胶，不易捕集，故使其先在聚集器中聚集成较大颗粒，然后经旋风分离器收集，再送入脱酸炉，用含氮空气吹洗气相二氧化硅至PH值为4~6即为成品。

在复杂极性液体中使用，如环氧树脂、聚氨酯、乙烯基树脂、具有良好的增稠性和触变效果。用于光缆的电缆胶中作增稠和触变剂。高密度填料的防沉剂。

AEROSIL R202，可以使环氧树脂获得稳定的增稠和触变性。当加入胺固化剂后，在固化过程中流体的粘度值和触变性能基本保持恒定。AEROSIL R202是一种用聚二甲基硅氧烷不完全处理的疏水气相二氧化硅，其微粒的表面固定着较长链的聚二甲基硅氧烷，具有非常强的疏水性，当这种疏水产品分散于极性体系中时，这种疏水基团可以保护白炭黑表面剩余的硅羟基，以防止其被过分润湿，剩余的硅羟基基团和长链疏水基团使这种疏水气相二氧化硅产生较强的增稠和触变效果，从而克服了亲水性气相二氧化硅在极性体系中增稠触变性变差，触变网络稳定性易降低的缺点。

AEROSIL R202是通过亲水性气相二氧化硅，经二甲基聚硅氧烷改良后的疏水性气相法二氧化硅。CAS NO:67 762-90-7

AEROSIL R202是通过亲水性气相二氧化硅与二甲基聚硅氧烷发生化学反应而制得。它具有疏水性(憎水性)，而且不能在水中分散。为了解决工业中一些特殊的技术问题，各种型号的疏水性气相二氧化硅被研发出来。如通过用硅烷或硅氧烷处理改性亲水级别的气相法二氧化硅生产疏水性的气相法二氧化硅，在最终的产品中，化学处理剂以化学键方式结合在原来的亲水性氧化物上。除了亲水性产品的上述优点外，疏水性气相二氧化硅产品的特点是:低吸湿性、很好的分散性、即使对于极性体系也有流变调节能力。有些产品，在疏水处理的基础上再经过结构改性，例如:在液体体系中，疏水性气相二氧化硅可以达到高添加量，而对体系的粘度影响很小。