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ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。
在溅镀ITO层时,不同的靶材与玻璃间,在不同的温度和运动方式下,所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些,更容易出现"麻点"现象;有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带,ITO层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。
长度、宽度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翘曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)
微观波纹度
倒边C倒边(0.05mm≤宽度≤0.40mm)R倒边(0.20mm≤宽度≤1.00mm,曲率半径≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻挡层厚度(350埃±50埃,550nm透过率≥90%)ITO层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)
耐碱为浸入60℃、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的清洗液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。热稳定性:在300°C的空气中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%。
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称"霉变",因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。
ITO靶材是高纯三氧化二铟和二氧化锡粉末按照重量比9/1或95/5(最常用)混合均匀后,加压烧结成陶瓷片状,再加工成靶材成品,用作溅射镀制TCO透明导电薄膜,由于氧化铟价格较高,所以I...
高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。产品参数:面电阻:300~500 Ω/□面电阻均匀性:MD≤±3%,TD≤±6%ITO薄膜厚度:0.188±10%线性度(MD):...
ITO玻璃清洗:没有涂层的一面可以按常规玻璃清洗;有涂层的一面,采用的是先湿法(乙醇。)超声清洗过,红外烘干,然后采用干法清洗(紫外臭氧光清洗)以提高ITO表面的功函数。ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼...
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。
ITO导电玻璃按尺寸分,有14"x14"、14"x16"、20"x24"等规格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。
ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。
尺寸:
A、测试方法:用直尺和游标卡尺测量待测玻璃原片的长度、宽度、厚度。
B、判定标准:测量结果在供货商所提供的参数范围之内为合格。
面电阻:
A、测试方法:把待测试玻璃整个区域做为测试区域,然后测试区域分成九等份后再用四探针测试仪分别测试各区域的面电阻。
B、判定标准:根据测试结果计算出电阻平均值及电阻资料分散值,结果在要求范围内既是合格。
ITO层温度性能
A、测试方法:把待测玻璃原片在3000C的空气中,加热30分钟,测试其加温前后的同一点面电阻阻值。B、判定标准:ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%为合格。
蚀刻性能:
A、测试方法:把待测玻璃原片放入生产线所用的蚀刻液中测试其蚀刻完全的时间。
B、判定标准:蚀刻完全的时间值小于生产工艺所设定时间的一半值为合格。
A、测试方法:把待测玻璃原片放在600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,测试其浸泡前后的同一点面电阻阻值。
B、判定标准:ITO层方块电阻变化值不超过10%为合格。
光电性能与可靠性:
A、测试方法:把待测玻璃与现生产用玻璃按现生产工艺参数,选择一型号制作成成品并测试其光电与可靠性性能;
B、判定标准:光电性能与可靠性测试结果与现生产用玻璃结果相当,并在测试产品型号要求范围之内。
C、一般来讲,ITO玻璃耐碱性能良好。
ITO玻璃标准
玻璃基片质量标准 外形尺寸: 序号 检验项目 标准范围( mm) 1 长度 / 宽度 ±0.20 2 厚度 1.10±0.05 0.70±0.05 0.55±0.05 0.50±0.05 0.40±0.05 3 垂直度 ≤0.10% 4 磨边 STN/HTN 型 : 1.1mm 磨边宽度≤ 0.60 , R 面直径≤ 4.0 0.7mm 、0.55mm 磨边宽度≤ 0.50 , R 面直径≤ 3.0 磨边宽度最大处与最小处相差 <0.15 TN/TP 型 : 1.1mm 磨边宽度≤ 0.70 , R 面直径≤ 5.0 0.7mm 、0.55mm 磨边宽度≤ 0.60 , R 面直径≤ 4.0 磨边宽度最大处与最小处相差 <0.20 5 倒角 小角: c=1.50±0.50 大角: d=5.00±1.00 e=2.00±1.00 平面度: TN型、
银膜厚度对ITO-Ag-ITO-Glass玻璃性能的影响
采用射频磁控溅射和直流溅射方法在玻璃基片上低温制备ITO-Ag-ITO薄膜,测试了玻璃的透光度、方块电阻、电阻率,观察了因镀制Ag的膜层的时间的不同而引起的各项参数的变化规律,结果表明:随着Ag膜厚度的增加,试样的透过率急剧的下降;方块电阻开始降低的很快,但随着薄膜厚度的增加,电阻数值下降逐渐趋于缓慢;Ag膜的电阻率也随着厚度的增加而逐渐的降低。
ITO膜层的厚度不同,膜的导电性能和透光性能也不同。一般来说,在相同的工艺条件和性能相同的PET基底材料的情况下,ITO膜层越厚,PET-ITO膜的表面电阻越小,光透过率也相应的越小。
以下是两种不同的PET-ITO导电膜的参数:
高阻抗ITO导电膜(PET-ITO)
高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。
产品参数:
面电阻:300~500 Ω/□
面电阻均匀性:MD≤±3%,TD≤±6%
薄膜厚度:0.188±10%
线性度(MD):≤1.5%
全光线透过率:≥86%
表面硬度(铅笔硬度):≥3H
热稳定性:(R-R0)/R: ±20%
热收缩率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
加热卷曲:≤10mm
低阻抗ITO导电膜(PET-ITO)
低阻抗ITO导电膜可用于对导电性能要求比较高的领域,如:用于薄膜太阳能电池的透明电极、电致变色器件的电极材料、薄膜开关等领域。
产品参数:
薄膜厚度:0.175±10 mm
雾度:<2%
宽度:406/360±2 mm
粘附:100/100
卷曲:≤10 mm
透过率:≥ 80%
表面电阻:90±15 Ω/□
面电阻均匀性:<7%
热收缩:MD≤1.3,TD≤1.0
热稳定性:
高温:80oC,120hr ≤1.3
低温:-40oC,120hr ≤1.3
热循环:-30oC—80oC ≤1.3
热/湿度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3
附:
ITO:
透明导电材料氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)
PET:
聚对苯二甲酸乙二醇酯 化学式为COC6H4COOCH2CH2O
英文名: polyethylene terephthalate,简称PET。
PET的特点:
①有良好的力学性能,冲击强度是其他薄膜的3~5倍,耐折性好。
②耐油、耐脂肪、耐稀酸、稀碱,耐大多数溶剂。
③具有优良的耐高、低温性能,可在120℃温度范围内长期使用,短期使用可耐150℃高温,可耐-70℃低温,且高、低温时对其机械性能影响很小。
④气体和水蒸气渗透率低,既有优良的阻气、水、油及异味性能。
⑤透明度高,可阻挡紫外线,光泽性好。
⑥无毒、无味,安全性好。2100433B
掺锡氧化铟(IndiumTinOxide),一般简称为ITO。
高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。
产品参数:
面电阻:300~500 Ω/□
面电阻均匀性:MD≤±3%,TD≤±6%
薄膜厚度:0.188±10%
线性度(MD):≤1.5%
全光线透过率:≥86%
表面硬度(铅笔硬度):≥3H
热稳定性:(R-R0)/R: ±20%
热收缩率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
加热卷曲:≤10mm
低阻抗ITO导电膜可用于对导电性能要求比较高的领域,如:用于薄膜太阳能电池的透明电极、电致变色器件的电极材料、薄膜开关等领域。
产品参数:
薄膜厚度:0.175±10% mm
雾度:<2%
宽度:406/360±2 mm
粘附:100/100
卷曲:≤10 mm
透过率:≥ 80%
表面电阻:90±15 Ω/□
面电阻均匀性:<7%
热收缩:MD≤1.3,TD≤1.0
热稳定性:
高温:80oC,120hr ≤1.3
低温:-40oC,120hr ≤1.3
热循环:-30oC—80oC ≤1.3
热/湿度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3