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本底真空度：优于1.0×10-10Torr，最高加热温度：800 ℃。
制备高质量超薄金属薄膜，如0.3nm厚的钴。 2100433B
象这种情况,一般是电极或者是调压器内部有积炭或有短路现象,它在低电流时还正常,但把电流升到一定的数值时就击穿,就跳断路器,表面上有时发现不了,最好用兆欧表对地摇一摇,测一下它对地绝缘电阻,经常维修对设...
有很多原因，看一下是不是漏了（漏气）、扩散泵有没有反油之类的！还有多久没保养了，得保养一下！佛欣提供本内容
漏气，高真空泵该维护，产品放气量大
西门子440变频器在APPLIED FILMS高真空镀膜机锌炉提升装置上的应用
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介绍了西门子440变频器的基本原理,功能特点以及它在在高真空镀膜机锌炉提升装置上的应用。
汽车灯具高真空镀膜机温度控制模块设计
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介绍了高真空镀膜机温度控制模块。试验表明 ,此设计较好地解决了大惯性温度对象控制的平稳性、快速性与精确性之间的矛盾 ,算法简单 ,实用性强
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
② 打开总电源开关，设备送电。
③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤ 落下钟罩。
⑥ 启动抽真空机械泵。
⑦ 开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪ 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。
a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫ 旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭ 旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯ 旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰ 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱ 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。
⑳ 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。
a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。
b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。
c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。
21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 （原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。
25. 落钟罩。开机械泵。
a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。
c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。
f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。
c. 切断供电总开关。
d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。
27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，再关维持泵。
经常查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一个好办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。
在检漏真空镀膜机的过程中，需要注意以下问题，才能把检漏作业做好。
1、要查看漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体，有也许误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要扫除这种状况。
2、测验好真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。
3、查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可处理方案并施行。
4、断定检查仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性，以最大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。
5、掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，糟蹋检漏气体和人工电费。
6、还要防止漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。
真空镀膜机操作程序
