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它由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压力的作用下变形,从而改变电容器的容量,其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一种型式的固定电极取凹形球面状,膜片为周边固定的张紧平面,膜片可用塑料镀金属层的方法制成。这种型式适于测量低压,并有较高过载能力。还可以采用带活塞动极膜片制成测量高压的单电容式压力传感器。这种型式可减小膜片的直接受压面积,以便采用较薄的膜片提高灵敏度。它还与各种补偿和保护部以及放大电路整体封装在一起,以便提高抗干扰能力。这种传感器适于测量动态高压和对飞行器进行遥测。单电容式压力传感器还有传声器式(即话筒式)和听诊器式等型式 。
它由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压力的作用下变形,从而改变电容器的容量,其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一种型式的固定电极取凹形球面状,膜片为周边固定的张紧平面,膜片可用塑料镀金属层的方法制成。这种型式适于测量低压,并有较高过载能力。还可以采用带活塞动极膜片制成测量高压的单电容式压力传感器。这种型式可减小膜片的直接受压面积,以便采用较薄的膜片提高灵敏度。它还与各种补偿和保护部以及放大电路整体封装在一起,以便提高抗干扰能力。这种传感器适于测量动态高压和对飞行器进行遥测。单电容式压力传感器还有传声器式(即话筒式)和听诊器式等型式。
它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难(特别是难以保证对称性),而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。
它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器,可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器 。
一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。
陶瓷电容式压力传感器价格300左右。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号...
差动电容式传感器因其带电极板间的静电引力很小,所需输入力和输入能量极小,因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力高,能敏感0.01μm 甚至更小的位移;由于其空气...
它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难(特别是难以保证对称性),而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中 。
过程压力通过两侧或一侧的隔离膜片、灌充液传至6室的中心测量膜片。中心膜片是一个张紧的弹性元件,它对于作用在其上的两侧压力差产生相应变形位移,其位移与差压成正比,最大位移约0.1mm,这种位移转变在电容极板上形成差动电容,由电子线路把差动电容转换成二线制的4~20mA DC信号输出 。
单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计
单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计
车用新型陶瓷电容式压力传感器
压力传感器是车辆电子控制装置获得压力信息的主要元件之一,文章通过对电容式压力传感器基本原理的分析,阐述在电容敏感材料变为陶瓷时,其性能、特点、精度及相应的信号处理,使其在低成本的基础上,广泛地应用于社会的各个领域。
2012年11月5日,《硅电容式压力传感器》发布。
2013年2月15日,《硅电容式压力传感器》实施。
主要起草单位:沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、浙江中控仪表有限公司等。
主要起草人: 张治国、刘沁、李颖、匡石、徐秋玲等。
模块四压力检测
知识链接压力的基本概念
项目一电容式压力传感器
任务一认识电容式压力传感器
任务二压力表的安装与选型
任务三压力表的校验
项目二两线制压力变送器
任务一两线制压力变送器的应用
任务二两线制压力变送器的HART通信
任务三智能压力变送器的应用
任务四现场总线压力变送器的应用
拓展阅读陶瓷式压力传感器
思考题与练习题
模块五流量检测
知识链接流量的基本概念
项目一节流式流量计
任务一认识节流式流量计
任务二节流式流量计的安装与应用
任务三节流式流量计的误差合成
项目二超声波式流量计
任务一认识超声波
任务二超声波式流量计的应用
任务三流量计的检定
项目三流量变送器的电磁兼容试验
任务一认识EMC
任务二流量变送器的EMC试验及防护
拓展阅读1电磁式流量计
拓展阅读2科里奥利质量式流量计
思考题与练习题
模块六液位检测
知识链接液位与物位的基本概念
项目一电容式液位计
任务一变介电常数电容式液位计的安装与应用
任务二差压式液位变送器的安装与零点迁移
项目二超声波式液位变送器
任务一超声波式液位变送器的应用
任务二超声波式液位变送器的误差分析
项目三液位计的型式试验与型式评价
任务一液位计的型式试验
任务二液位计的型式评价
拓展阅读电接点式水位计
思考题与练习题
模块七振动检测
知识链接振动的基本概念
项目一测振传感器
任务一压电式加速度传感器测量振动
任务二涡流式位移传感器测量振动
任务三磁电式传感器测量振动
任务四振动的激振与激振器
项目二振动的频谱分析与故障诊断
任务一时域图与频域图的识别
任务二机械设备的振动故障频谱分析
拓展阅读MEMS加速度传感器
思考题与练习题
模块八光学量检测
知识链接光学量的基本概念
项目一光电元件及应用电路
任务一紫外光电管的特性及应用电路
任务二光敏电阻的特性及应用电路
任务三光敏二极管的特性及应用电路
任务四光敏晶体管的特性及应用电路
任务五光电池的特性及应用电路
项目二光电传感器的应用
任务一被测物本身是光源的检测
任务二被测物吸收部分光的检测
任务三被测物反射部分光的检测
任务四被测物遮蔽部分光的检测
拓展阅读光导纤维传感器及应用
思考题与练习题
模块九小位移检测
知识链接小位移检测的基本概念
项目一电感式小位移传感器
任务一认识自感式传感器与差动变压器
任务二电感式位移传感器测量小位移
项目二涡流式小位移传感器
任务一涡流式位移传感器测量小位移
任务二涡流式位移传感器的静态标定
项目三接近开关
任务一认识接近开关
任务二电感式(涡流原理)接近开关的应用
任务三电容式接近开关的应用
任务四霍尔式接近开关的应用
拓展阅读轴承滚柱直径的检测及分选
思考题与练习题
模块十数字式位置检测
知识链接位置检测方式
项目一角编码器
任务一认识角编码器
任务二角编码器的应用
项目二光栅传感器
任务一认识光栅传感器
任务二光栅传感器的应用
项目三磁栅传感器
任务一认识磁栅传感器
任务二磁栅传感器的应用
项目四容栅传感器
任务一认识容栅传感器
任务二容栅传感器的应用
拓展阅读电梯平层
思考题与练习题
附录
附录A工业热电阻分度表
附录B镍铬镍硅(镍铝)K型热电偶分度表(自由端温度为0℃)
部分习题参考答案
参考文献 2100433B