真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1 Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1 Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适。在高压强时发射电流应减小。

上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。

同在80年代，有人将敷氧化钇铱丝代替DL-2型规管中的钨丝，做成DL-9型规管[5]，使上限压强扩展一个数量级，测量范围为10-5～1 Pa。在研究吸气剂性能时，应在小发射电流下工作，以减小电离计的吸气效应。在有害气氛下工作用小发射电流可以延长灯丝寿命。

电离计的误差为[1]：10-8～10-1 Pa，△=±70%；10-5～10-1 Pa，△=土50%；10-3～10 Pa，△=±50%。

单片机问世后不久，就开始用单片机控制电离真空计[6]。单片机操作代替了原电路中的调零点、调满偏、调发射、换量程等手工操作，并有诸多功能板，例如RS232串口，模拟量输出等可与计算机联机，真空计还可以用单片机设置输出信号。2100433B

电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。 BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。

电离真空计有：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、放射性电离真空计。

在低压强气体中，气体分子被电离生成的正离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。

按照离子产生的方法不同，利用热阴极发射电子使气体电离的真空计叫热阴极电离真空计；其中，热阴极电离真空计由热阴极规管和测 量仪器组成。测量仪器由规管工作电源、发射电流稳压器、离子流测量放大器等部分组成。热阴极电离规管与被测真空系统相通。热阴极电离规管是一个三极管，管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位；栅极相对于阴极 电正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射电子，在电子到达栅极的过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一定时，正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大，可由批示电表读出所要测量的真空度。

热阴极电离真空计规管类似一支三极管，如图a所示，由筒状板极(离子收集极)C，栅极网G和位于栅极网中心的阴极灯丝F构成，筒状板极在阳极栅网外面。

图b是其外控电路，栅极电位在 100~ 300V之间，板极的电位在0~-50V之间。阴极灯丝F通电发热后便发射电子，由于阳极栅网G为正电压，发射出的电子被加速，电子与内部的气体分子相碰，使气体分子发生电离，气体压强大，气体的密度就大，碰撞机会越多，产生的正离子也越多。正离子在筒状板极负电压的作用下，吸引正离子形成板极电流，气体分子密度越大(即压强越大)，板极电流也越大，反之就小。在测量范围内板极电流与被测压强成正比。

真空系统暴露大气后，电离规玻璃泡和电极表面会吸附很多气体，在真空环境下，气体又被释放出来，影响测觉精度。为消除这种影响，在测量前必须对规管进行除气。电离规管除气采用烘烤方法，即给灯丝和栅极可分别通电加热，板极则采用高频感应加热或电子轰击，使气体在测量前被释放出来。一般电离真空计都具有除气功能，当真空度大于1×10^-2Pa时，按说明书要求对电离规管进行除气 。