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高稳定性高温压力传感器的研究

《高稳定性高温压力传感器的研究》是依托天津大学,由姚素英担任项目负责人的面上项目。

高稳定性高温压力传感器的研究基本信息

高稳定性高温压力传感器的研究项目摘要

本项目采用硅熔键合和终止腐蚀相结合的方法研制半导体高温压力传感器。利用单晶硅的可靠性,高应变灵敏度和可重复的电学,机械特性,用单晶硅做应变电阻,介质膜隔离代替PN结隔离,提高传感器灵敏度,可靠性和工作温度。用有限元法模拟计算应变膜的应力分布规律,进行优化设计及软硬件补偿。该传感器工艺简单,适于高温小型化,集成化。 2100433B

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高稳定性高温压力传感器的研究造价信息

  • 市场价
  • 信息价
  • 询价

高温压力传感器,

  • 0-1MPa 4-20mAdc
  • 适科
  • 13%
  • 上海适科暖通机电设备有限公司
  • 2022-12-08
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温度传感器ES-W

  • DN15
  • 盾安阀门
  • 13%
  • 浙江迪艾智控科技股份有限公司
  • 2022-12-08
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CO2传感器

  • RXXF-CO2
  • 荣夏
  • 13%
  • 江苏荣夏安全科技有限公司
  • 2022-12-08
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高温熔体压力传感器

  • PT127系列
  • SAND先达电子
  • 13%
  • 成都先达电子有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

高温熔体压力传感器

  • 测量范围0~5MPa~150MPa之内任选
  • SAND先达电子
  • 13%
  • 成都先达电子有限公司
  • 2022-12-08
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温湿度传感器

  • 广东2022年2季度信息价
  • 电网工程
查看价格

温湿度传感器

  • 广东2021年4季度信息价
  • 电网工程
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温湿度传感器

  • 广东2021年1季度信息价
  • 电网工程
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无源无线温度传感器

  • 电缆头温度监测,每相配一个
  • 广东2022年2季度信息价
  • 电网工程
查看价格

无源无线温度传感器

  • 电缆头温度监测,每相配一个
  • 广东2022年1季度信息价
  • 电网工程
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高温压力传感器,

  • 0-1MPa 4-20mAdc
  • 4247个
  • 1
  • 适科
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2015-07-23
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压力传感器

  • 压力传感器
  • 20套
  • 1
  • 海湾
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-06-22
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 1个
  • 3
  • 详见原档
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2021-10-14
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 2支
  • 3
  • 泊海、沪工、沪航
  • 中高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2021-01-14
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 4套
  • 3
  • 青岛三利中德美水设备有限公司、上海威派格智慧水务股份有限公司
  • 高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2019-11-14
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高稳定性高温压力传感器的研究基本信息

批准号

69876027

项目名称

高稳定性高温压力传感器的研究

项目类别

面上项目

申请代码

F0404

项目负责人

姚素英

负责人职称

教授

依托单位

天津大学

研究期限

1999-01-01 至 2001-12-31

支持经费

13.5(万元)

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高稳定性高温压力传感器的研究常见问题

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高稳定性高温压力传感器的研究文献

压力传感器 (4) 压力传感器 (4)

压力传感器 (4)

格式:pdf

大小:10.9MB

页数: 79页

压力传感器 (4)

压力传感器 (3) 压力传感器 (3)

压力传感器 (3)

格式:pdf

大小:10.9MB

页数: 22页

压力传感器 (3)

全LGS封装的声表面波高温压力传感器研究基本信息

批准号

60274062

项目名称

全LGS封装的声表面波高温压力传感器研究

项目类别

面上项目

申请代码

F0306

项目负责人

施文康

负责人职称

教授

依托单位

上海交通大学

研究期限

2003-01-01 至 2003-12-31

支持经费

5(万元)

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高温压力传感器产品选型

1、测量的是何种压力。

2、所测量的介质。在选择高温熔体压力传感器时需要考虑的关键因素是所测量的介质。

3、需要达到什么样的精度。

4、此高温压力传感器的耐温性、互换性、时间稳定性和坚固程度。

5、此高温压力传感器使用何种输出,需要的激励电压,以及怎样将传感器连接到自己的电气系统中 。

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高温压力传感器产品概述

高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉,熔炉等众多行业。

高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前,研究比较多的高温压力传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小,且只对压力敏感,对应力不敏感,因此,电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。

高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。

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