1 准备工作

a,检查电源线接触是否良好

b,检查连接线是否正常

c,检查冷却水是否正常

d,检查密封性是否正常

e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘

2 开炉

a,打开主电源开关

b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板

c, 将输送车开关打至 OUT

d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

3装料

a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。

b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。

c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门

4 抽气

a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封

b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，

c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。

1. 加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。

2. 冷却

a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；

高温炉又叫马弗炉，实验电炉，是用于实验室的加热设备。高温炉只是一个统称，其实在不断的发展过程中，又有了很多的细分。今天主要介绍一下主流高温炉厂家生产高温炉的几个最常见的类型细分。

箱式炉

顾名思义，箱式高温炉外型和一个箱子一样，也就是传统意义上的马弗炉，只不过功能更强大，保温性能更好。炉膛一般是方形的，尺寸规格可以定制，门开在正前方，开门方是向外拉，门内还有一个门堵，能够更好的保温。这也是最常用的一种高温炉，适合大多数实验室。

管式炉

适合小工件和小样品的加热、烧结，各大专院校实验室使用的很多。工作方式是将石英的或刚玉的炉管放到炉膛内加热，加热区域、恒温区域内放置工件。

管式炉两端采用密封法兰，可实现预抽真空，可通入各种保护气体，氧化气体和还原气体。

气氛炉

气氛炉是集成了箱式炉和管式炉双重特点的高温炉，适合较大样品和有气氛要求的实验和生产。气氛炉外型和高温炉差不多，在此基础上增加了进气口和出气口。炉体密封焊接，炉门上有一圈耐高温硅胶密封圈，能够起到很好的密封作用。所以使用时能够预抽真空，也能通入各种气氛。真空效果相比管式炉略差，但是不影响使用，一般能到0.05MP.

井式炉

井式炉从外形上看其实也和箱式炉、气氛炉差不多，都是箱体外形。但从结构上看又和坩埚高温炉很相似。井式炉的炉膛是竖直安置的，可以垂直方向取放样品和工件，炉门开在炉子的上方，垂直方向开关门。很方便需要自动化改进，比如配合机械手进行自动的实验。井式炉的炉膛一般是圆形的，不过也有很多客户要方形的炉膛。

其实不论哪种高温炉都是优秀的加热设备，客户有特殊要求只要跟高温炉厂家说清楚，都能够实验定制。不过上面四中主要的高温炉能够满足绝大部分客户的实验需求。

规格有：1000℃、1200℃、1300℃，最高可达1600℃，

并可根据用户需要定制特殊规格电炉。

高温炉设备特点

升 温 快：1000C炉型由100C升温至1000C，小于30分钟

1700度炉100C升温至1700C，小于90分钟

效率高：作实验炉用时，可开进出风孔，加烟筒，有利于补进新鲜氧气，加速试验。

由于采用新型陶瓷纤维炉膛，保温效果好，升温至1000C，并保持1小时后外壳表面不烫手，避免烫伤。（约45-55C根据使用环境定）

可显著降低烧结温度，最大幅度可达500。C；

大幅降低能耗，节能高达70 -90 %；

缩短烧结时间，可达50% 以上；

显著提高组织致密度、细化晶粒、改善材料性能。

高温炉产品特点

● 炉体、智能控制器分体设计，美观、大方，炉门采用侧开门设计。

● 采用两侧衬板式加热元件，便于更换炉丝，采用进口超高温发热体，抗氧化性能更加优异，大大增加使用寿命。

● 采用陶瓷纤维绝热，大幅度的提高了升温速度，并减少了热能消耗，与传统的马弗炉相比重量减轻1/2,升温速度提高1倍，大大节约能源，寿命提高3.5倍；保温效果好，炉外表温度低

● 采用进口温控仪表，全新数字显示，数字设定的温度，智能控制输出，可减少视读和人为操作误差，大大提高工作效率。

● 设有多种保护装置，提高了安全性及可靠性

● 独立控制系统，方便维修更换

● 炉体上开有排气孔（可根据用户要求增设气体保护进、排气空）

● 可根据用户需要定做其他规格产品.各种非标管式炉、井式炉、箱式炉

备：可根据用户需求定制各种规格异型加热装置，加热炉膛！

自然空气隔热式，轻巧易搬运。

升温速度快，0-30℃/min可以自由设定。

炉内两面辐射方式加热，温度分布均匀。

保温：进口耐高温陶瓷棉保温及陶瓷板、岩棉三重保温。

加热器：加热器，耐用、升温稳定、加热速度快。

内部采用耐高温陶瓷板，不易变形，外部采用镀锌加高温烤漆美观，不易掉漆。

生产方式：气氛保护连续式生产

加热方式：电加热

煅烧产品：粉体材料

使用温度：60℃—1400℃

温控精度：≤±2℃

高温炉是国家标准节能型周期作业电炉，主要供合金钢制品、各种金属机件正火、淬火、退火等热处理之用，或金刚石等切割刀片进行高温烧结用途。

应用行业

（1）热加工、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。

（2）医药行业：用于药品的检验、医学样品的预处理等。

（3）分析化学行业：作为水质分析、环境分析等领域的样品处理。也可以用来进行石油及其分析。

（4）煤质分析：用于测定水分、灰份、挥发份、灰熔点分析、灰成分分析、元素分析。也可以作为通用灰化炉使用。

具体用途

1、太阳能新材料、多晶硅、单晶硅、太阳能电池、工业硅、冶金硅；

2、钴酸锂、锰酸锂、三元材料、氧化亚钴、磷酸锰锂、磷酸铁锂、氧化钴、石墨负极、钛酸锂、固溶体系材料、石墨烯；

3、钴粉、超细镍粉、太阳能电池、镀镍钢带；

4、陶瓷滤波器、介质陶瓷、压电蜂鸣器、压电变压器；

5、陶瓷电容器、片式电容器；

6、稀土荧光粉、彩电荧光粉；

7、厚膜电路、片式电阻、聚焦电位器；

8、各种粉末冶金；金属热处理；钴铬合金（CoCr）；透明氧化锆、钛钒合金、钒氮合金、铁铜基粉末；

9、软磁铁氧体、永磁铁氧体；

10、汽车尾气三元催化剂、石油行业催化剂；摩擦材料、减磨材料；

11、结构陶瓷、氧化铝陶瓷基板、陶瓷金属化；

12、钛酸钡、碳酸钡、碳酸锶、二氧化钛、二氧化锆、二氧化钽、二氧化铌；

13、VFD玻璃热处理、涂敷和封入；液晶基板玻璃；

14、压敏电阻、环形压敏电阻、热敏电阻；

15、低松装密度铜粉、低松装密度高品质铜-锡10粉、黄铜粉、汽车轴瓦用高铅、高锡铜合金粉、6-6-3青铜粉、锡粉、镍粉、钴粉、球形金属粉末等。

16、阳极帽、销钉氧化、VFD玻璃热处理、涂敷及封入、液晶玻璃基板、金属零件还原气氛热处理、磷酸铁锂

17、芯片焊接、金属封装、HTCC、DBC、VFD、PDP、汽车散热器等产品在保护气氛下的熔封、金属化、钎焊、氧化、退火等热处理工艺

18、微波铁氧体、磁性材料、先进陶瓷、电子元件、粉末冶金产品等的预烧、烧结、共烧

17、厚膜电路、厚膜电阻、电子元件电极、LTCC、钢加热器等类似产品的高温烧结、热处理。

1. 除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

2. 实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动，并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

3. 处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。

4. 石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

5. 避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

6. 氰化钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。

7. 一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。

8. 请节约纯水用量。

9. 破晶片、滤纸、棉花棒，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

10. 长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

11. 晶片进出炉口时，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。

高温烧结技术的关键是微波加热，其原理是物质在微波作用下发生电子极化、原子极化、界面极化、偶极转向极化等方式，将微波的电磁能转化为热能。显然，并非所有的材料都能被微波加热，根据物质与微波的作用特性，可将物质分为三大类：

(1)透明型，主要是低损耗绝缘体，如大多数高分子材料及部分非金属材料，可使微波部分反射及部分穿透，很少吸收微波，这类材料可以长期处于微波场中，发热量极小，常用作加热腔体内的透波材料，如四氟乙烯等可用于微波真空腔体的透波隔板。

(2)全反射型，主要是导电性能良好的金属材料，这些材料对微波的反射系数接近于1，仅极少量的入射微波能透入，可用作微波加热设备中的波导、微波腔体、搅拌器等；

(3)吸收型，主要是一些介于金属与绝缘体之间的电介质材料，包括纺织纤维材料、纸张、木材、碳化硅、氧化锆、荧光粉、陶瓷、水、石蜡等，微波烧结技术的应用对象主要是陶瓷材料和金属粉末材料。微波烧结技术的特点微波加热具有整体性、瞬时性、选择性、环境友好性、安全性及高效节能等特点。微波作为一种清洁能源，用于微波烧结，已成了材料界的一个研究热点，并引发了烧结技术领域中的一场革命。

元件分类

试验用高温炉加热元件分为三种：

1. 电阻丝；

2. 硅碳棒；

3. 硅钼棒；

箱式高温炉适用范围

箱式高温炉又名马弗炉。适用于电力、煤炭、造纸、石化、水泥、农牧、医药科研、教学等行业和部门。

箱式高温炉仪器特点

1、马弗炉采用新型保温材料。体积小、重量轻、保温效果好、升温速度快。

2、面板采用不锈钢制作。造型美观、工艺考究。

3、操作简单、维修方便、炉后配有可控烟囱。适用于煤炭、焦化产品、化工原料的化学分析。

高温炉电脑控制部分融合了国内外其它程控器的优点，具有冷端自动补偿、自动校正、自编程功能、模糊控制，采用更新型的CPU，“以软代硬”减少易引起故障的硬件。高温炉体1300℃以上采用PMF节能材料，是当今国际上最新型超轻质耐高温材料。彻底解决了重质耐火材料笨重、隔热耐温效果差的难题。