结构及特点:

罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4:至10:1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级进口管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统不受真空油污染。

用途:

罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥;航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。

滑阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。

滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa(均关气镇)，双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。

由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果滑很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡，减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。

柱塞式滑阀广泛用于液压和气动装置中。p1为流体的进口压力,p2为卸压回流的出口压力，通道A和B分别与被控制的压力缸(液压缸或气压缸)的A室、B室相连。柱塞位于图中右边位置时，p1压力的流体流向通道A,进入压力缸的A室，推动活塞向左运动,这时B室的流体经通道B流向出口

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。当活塞到达左极限位置(行程终了)时，滑阀驱动轴被带动，使柱塞位置移至左边，切换流体的流向，p1压力的流体便流向B通道，进入压力缸的B室,使活塞向右移动，A室中的流体则回流至通道A并流向出口。当活塞到达右极限位置时,滑阀的驱动轴又被带动,使柱塞位置回复到右边位置。这样，滑阀使压力缸的活塞完成往复运动的一个周期动作。如此不断循环，活塞便自动连续往复运动。若使滑阀驱动轴处于中间位置，则活塞运动停止。平面型单阀瓣滑阀的阀瓣因受到较大的压力差作用，在滑动面上产生的摩擦力大，动作不灵敏,易磨损。它还因结构上的缺点,不能在小流量范围内调节，因而当机械设备在低负荷下运行时，经济性会降低。平面型双阀瓣滑阀增加一副阀瓣,流量调节性能和阀瓣受力状况得到改善，但仍存在摩擦力大的缺点。平面型阀瓣滑阀主要用于蒸汽机。回转式滑阀的优点是切换动作迅速、精确，并可微调，但密封性较差。它适用于压力、温度不高的场合。

滑阀的驱动方式有手动和自动(机械、电磁)两种。自动滑阀由被它控制的机械设备带动,两者协调动作,使机器设备自动连续运转。

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根据结构和动作特点，滑阀分为往复式和回转式两类。往复式滑阀又有平面型单阀瓣、平面型双阀瓣和柱塞式3种。