本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。

本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材。

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。

钛具有可塑性。高纯钛的延伸率可达50～60%，断面收缩率可达70～80%。尽管高纯钛强度低，但纯工业钛中含有少量杂质和添加合金元素可显著强化其机械性能，使其强度可与高强度相比拟。这就是说工业纯钛管中，只要含有少量间隙杂质及其它金属杂质，就可使其既具有高强度，又有适当的塑性。工业纯钛管的比强度(强度与重量比)在金属结构材料中是很高的，它的强度与钢材相当，但其重量仅为钢材的57%。另外，钛管的耐热性很强,在500℃的大气中仍能保持良好的强度和稳定性。钛管还具有良好的耐低温性能，即使在-250℃的超低温下,它仍具有较高的冲击强度，可耐高压抗震动。工业纯钛管的另一显著特点是耐腐蚀性强，这是由于它对氧的亲合力特别大,能在其表面上生成一层致密的氧化膜，可保护钛不受介质腐蚀。因此，钛在酸性、碱性、中性盐水溶液中和氧化性介质中具有很好的稳定性，比现有的不锈钢和其它有色金属的耐腐蚀性都好。工业纯钛管的应用范围十分广泛，工业纯钛管不仅在航天、航空工业中有十分重要的应用，而且已经在化工、石油、轻工、发电等许多工业部门中广泛应用。由于纯工业钛管具有重量轻、强度大、耐热性强、耐腐蚀等许多优良特性，被誉为“未来的金属”，是很有发展前途的一种新型结构材料。

钛可进行锻造、轧制、挤压、冲压等各种压力加工，原则上加热钢材所采用的设备都可以用于钛材加热，要求炉内气氛保持中性或弱氧化性气氛，绝不允许使用氢气加热。

钛的屈强比(σ0.2/σb)较高，一般在0.70～0.95之间，变形抗力大，而钛的弹性模量相对较低，因此钛材在加工成型时比较困难。 纯钛具有良好的焊接性能，焊缝强度、延性和抗蚀性与母材相差不多。为防止焊接时的污染，须采用钨极氩气保护焊。

钛的切削加工比较困难，主要原因是钛的摩擦系数大，导热性差，热量主要集中在刀尖上，使刀尖很快软化。同时钛的化学活性高，温度升高容易粘附刀具，造成粘结磨损。在切削加工时，应正确选用刀具材料，保持刀具锋锐，并采用良好的冷却工艺 。2100433B

含一定量的氧、氮、碳、硅、铁及其他元素杂质的α相钛。钛含量不低于98%、含有少量氧、氮、氢、碳、硅和铁等杂质的致密金属钛。氧、氮、碳、氢和硅属于间隙杂质元素，铁属于替代式β稳定元素。氧、氮、碳都能提高钛的室温抗拉强度，同时也会降低钛的塑性，因此钛中氧、氮、碳的含量都有比较严格的限制，特别是氧含量。氢在钛中的溶解度很小，氢与钛的反应是可逆的。氢对钛性能的主要影响表现为“氢脆”，当钛中氢含量达到一定量后，将会大大提高钛对缺口的敏感性，从而急剧地降低缺口试样的冲击韧性等性能。通常规定钛中氢含量不得超过0.015%。钛是现代宇宙航空科学，海洋科学和核能发电等尖端科学工业所不可缺少的材料。钛比一般金属轻48%，且韧性强，耐酸碱性、抗腐蚀、稳定性高，高强度，良好弹性等优点，符合人体工程系，钛对人体无毒，无任何辐射 。