（1）高速BiCMOS器件制作技术

1）以CMOS为基础的BiCMOS工艺

BiCMOS技术是将单、双极两种工艺合适地融合在一起的技术，但这绝不是简单、机械地掺和在一起，很多工艺可以一块儿或设法结合在一起做。BiCMOS工艺主要有两种：一是以CMOS为基础的BiCMOS工艺，这种工艺对保证CMOS器件的性能较为有利；二是以双极工艺为基础的BiCMOS工艺，这种工艺比较张扬BJT器件的性能。图1是以CMOS为基础的0.8μm BiCMOS器件的纵向剖面图。

BiCMOS－C型是只使用少数双极性晶体管来驱动长线一输出缓存器，而BiCMOS－E型则主要是以ECL技术为主，用CMOS晶体管做为大型存储部件。这两种类型的BiCMOS由于需要将双极性晶

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)体管和MOSFET（金属氧化半导体场效应晶体管）集成于同一芯片，生产工艺复杂，比制造同种复杂程序的CMOS器件花费要高，它的成功与否将取决于CMOS、GaAs在其各自应用领域取得成功的程度。BiCMOS－E性能不及GaAs与纯ECL技术，因此在高档应用场合性能不能与GaAs与纯ECL相抗衡。另一方面，BiCMOS的价格又不如CMOS便宜，因此，BiCMOS－C必须争取在价格上接近于CMOS，而在性能上又要能赶上GaAs技术。

由图1可见，以外延双阱CMOS工艺为基础，在N阱内增加了N 埋层和集电极接触深N 注入（图中左边BJT），以减少BJT器件的集电极串联电阻阻值，降低饱和管压降；用P 区（或N 区）注入制作基区；发射区采取多晶硅掺杂形式，与MOS器件的栅区掺杂形式一致，制作多晶硅BJT器件。因此这种高速BiCMOS制造工艺原则上不需要增加其它的重要工序。

2）以双极工艺为基础的BiCMOS工艺

在国外，先进的双极工艺一旦被开发出来，就被用于BiCMOS工艺。以双极工艺为基础的BiCMOS工艺即为一例，这种工艺的BiCMOS既顾全了CMOS器件，使其与纯CMOS工艺中的器件相比性能毫不逊色；同时又兼顾了BJT器件，使其与新的纯双极工艺中的器件不相上下。

这种工艺是在双阱CMOS工艺中加上精心设计的4张版图来制作BJT器件的。该BiCMOS工艺中BJT器件的外基区和PMOS管的源、漏区同时形成，BJT器件的发射区可与NMOS管的源、漏区同时形成。所制作的BiCMOS器件纵向剖面图如图2所示。

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)

（2）高速BiCMOS电路制作工艺和微细加工技术的特殊考虑

1）双阱结构中的阱结构尺寸及其埋层

对BiCMOS电路来说，需要仔细研究CMOS阱和BJT器件的集电极的工艺要求。一个主要的工艺设计折衷方案涉及到外延层和阱的轮廓特性。对于BJT器件，一方面集电极-发射极之间的反向击穿电压U（BR）CEO、集电极电阻和电容，以及生产工艺的可控制性决定了外延层的最低厚度；另一方面，如果外延层太厚，特征频率fT就会下降而集电极电阻RC值就会增大。对于MOS器件，在制作PMOS器件时使用N 埋层就要求外延层必须足够厚，以避免过大的结电容和PMOS器件的背偏置体效应（back-bias body effect）。

双阱结构中的N阱不仅影响PMOS器件，而且也可作为NPN型BJT器件的集电极。因此，除了应充分保证CMOS器件的性能以外，N阱掺杂既要足够重以防止Kirk效应（Kirk effect），同时又应足够轻，以增高BJT器件的U（BR）CEO。

2）外延层与自掺杂

在两种类型的埋层上生成轻掺杂的薄外延层，对外延沉积工艺来说是一种挑战。必须使在垂直和水平方向的两种类型杂质的自掺杂尽量地小，以避免在阱中需要过量的反掺杂。

3）利用杂质离子注入降低MOS器件阈值电压

在PMOS器件的沟道区通过硼离子注入调节，降低其阈值电压；制作NMOS器件沟道区时注入磷离子，不仅可使NMOS器件的阈值电压分散性大为减小，而且还可减小N阱同P型衬垫的掺杂浓度比值。这一技术意味着N阱区掺杂浓度可以降低，因而NMOS器件的阈值电压大为减小，结果使通信用BiCMOS电路可在低电源电压（3.3V）下工作。

4）用硅栅自对准工艺减小交叠电容

制作MOS器件时采用硅栅自对准（在栅下源、漏区极少扩展）工艺，使栅-源和栅-漏扩散区的重叠大大减小，栅-源及栅-漏交叠电容相应地大为减小。这样做有利于硅栅双阱BiCMOS电路的工作速度得以提高。此外，硅栅自对准工艺也可明显减小设计同样沟长的MOS器件所需要的版图尺寸，因而芯片的集成度得到了提高（大约提高30%）。

5）用高电阻率P型硅衬垫来提高工作速度

BiCMOS器件应采用高电阻率P型硅衬垫，这样既与CMOS、射极耦合逻辑电路（ECL）和砷化硅（GaAs）工艺有良好的兼容性，又降低了NMOS器件的结电容，有利于提高通信和信息处理用BiCMOS电路的速度。

（1） 通信SOC高性能BiCMOS技术的一个重要研发方向

最近几年来，通信应用频率正在不断增加，几乎所有应用领域都将进入双吉赫兹频段。如何顺应通信形势发展的要求，将通信系统中多种功能集成在一个芯片上，即组成片上系统（System On a Chip，简称SOC），则无疑是一种较佳的解决方案。这样一来，SOC不再仅仅限于低频CMOS芯片的设计中，而且也包括了高频有线和无线通信BiCMOS芯片，这是当今高性能BiCMOS技术的一个重要研发方向。

SOC的概念是在20世纪90年代提出来的，它既克服了多芯片集成系统制作和运行中所产生的一些困难，又获得了更高的系统性能。例如，CPU芯片工作速度非常高（传输延迟小于几十皮秒），但是如果存储器芯片依旧与CPU分开，则由于访址延时的加入，这种高速性能在计算机通信和未来个人通信中就体现不出来。即便使用光束传送信号，延时也只有3.3ps/mm。这就要求把存储器和CPU集成到一个芯片上去。可以预见，将更多功能集成到一个芯片上，还能解决今后芯片管脚数目增多、测试困难和成本较高等一系列问题。

SOC主要有3种类型：一是以CPU为核心，集成各种存储器、控制电路和系统时钟等，乃至集I/O功能和A/D、D/A转换功能于一个芯片上；二是以数字信号处理器（DSP）为核心，多功能集成；三是上述2种之混合或者把系统算法与芯片结构有机结合的SOC。

总之，SOC的发展并不仅仅是设计上的问题，而且也是先进的工艺技术的实现问题。SOC是很多模块的集成，而且各种模块电路功能的不同，对工艺的要求也是不一样的，有的要求高集成度，有的要求高速，有的要求强驱动，有的则要求低功耗；有的是数字电路，而有的则是模拟电路。但是，BiCMOS工艺更能满足如此复杂的技术要求，先进的BiCMOS技术将会使发展通信SOC如虎添翼。

（2） 低压、全摆幅、高速BiCMOS电路的一个研究热点

如今，数字通信和internet网络的电子产品对其中VLSI芯片低电源电压、全输出逻辑摆幅的要求日趋迫切。例如便携式电子产品（如手机、笔记本电脑和个人数字助理等）因用电池供电，故电源电力极为有限，降低电源电压不仅对减少电池充电次数、延长电池寿命，而且对减小IC器件的电场强度，以防止热击穿或热电子效应，都是非常必要的。先进的BiCMOS技术已被证明在低压、高速方面优于CMOS技术。但是，BiCMOS数字集成电路存在的问题是：降低电源供电电压，势必影响到提高工作速度。已设计成功的逻辑单元电路有：瞬时饱和全摆幅式、电荷泵抽取式、钳位全摆幅式（图3（b））、自举全摆幅式BiCMOS数字逻辑集成门电路、BiCMOS三态门和BiCMOS连线逻辑电路等等。2100433B

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)双极-CMOS集成电路(BiCMOS)由双极型门电路和互补金属-氧化物——半导体（CMOS）门电路构成的集成电路。特点是将双极（Bipolar）工艺和CMOS工艺兼容，在同一芯片上以一定的电路形式将双极型电路和CMOS电路集成在一起，兼有高密度 、低功耗和高速大驱动能力等特点。

高性能BiCMOS电路于20世纪80年代初提出并实现，主要应用在高速静态存储器、高速门阵列以及其他高速数字电路中，还可以制造出性能优良的模/数混合电路，用于系统集成。有人预言，BiCMOS集成电路是继CMOS集成电路形式之后最现实的下一代高速集成电路形式。

（1） 通信用数字逻辑电路、数字部件和门阵列等

由第二节可知，BiCMOS电路的优化组合是用CMOS电路充当高集成度、低功耗的电路部分，而仅用双极型电路来做输入/输出（I/O）电路部分，这是最早的BiCMOS数字集成电路的设计方案。后来，更先进的BiCMOS技术将BJT器件也集成到逻辑门中。与传统的CMOS门一样，由于门电路输出端两管轮番导通，所以这种BiCMOS逻辑门静态功耗接近于零，而且在同样的设计尺寸下，它们的速度将更快。尽管BJT器件的加入会增加20%的芯片面积，但是考虑到其带负载能力的增强，BiCMOS门的实际集成度比CMOS门将有所增加。比较典型的BiCMOS逻辑门有：反相器（非门）、三态缓冲/驱动器、与非门和或非门，它们分别如图3（a）、（b）、（c）、（d）所示。本课题对这4个门均已进行了硬件电路实验，所得实验数据为：平均传输延迟仅为十几纳秒，静态功耗近似为零，动态平均功耗也只有1～2mW。

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)

BiCMOS逻辑门在通信数字部件（如编码器、译码器和模/数转换器等）和门阵列的应用中极为广泛，因为它的扇出数一般为5～8，如此大的扇出数意味着具有较强的带负载能力，而且BiCMOS门比CMOS门能更快速地驱动这些负载。另外，BiCMOS门中的器件尺寸可以是一致的，这就降低了通信数字部件在物理设计上的难度；不同的CMOS电路对减小单位负载的传输延迟往往不同，而对于BiCMOS电路，由于双极型推挽BJT器件隔开了CMOS电路的主体与负载，使得不同电路中负载的状况变差都是相同的，这样就简化了通信和信息处理用数字逻辑部件和电路的设计任务，提高了工作效率。

（2） 通信用数字信号处理器（DSP）和微处理器（CPU）

若通信DSP和CPU等采用CMOS工艺，则芯片外主线就要有较大的带电容负载的能力。传统的接口驱动电路采用双极工艺制作，这样可以保证数据传输速度，但是功耗却大了些。以32位CPU为例，它包含有10个或者更多的接口器件，但同一时间内只有一条主线是激活的，亦即每一条主线有90%的时间不工作。由于这种接口器件是单纯双极型的，即使不在工作时它也在不停地消耗功率，所以整个CPU的静态功耗将会增大。

如果用BiCMOS器件做成接口驱动电路，则处于非门工作状态的驱动器取用的电流就要小多了。在很多情况下，静态功耗可以节省接近100%，而传统主线接口驱动电路的功耗约占整个系统功耗的30%，故这种节电效果非常显著，因而特别适用于手机、个人数字处理器和笔记本电脑等一类使用电池的通信、计算机和网络设备中。更为有利的是，BiCMOS数字集成电路的速度与先进的双极型电路不相上下，这与高速数字通信系统的速度要求是相适应的。

用0.8μm BiCMOS已研制出主频为100MHz的32位CPU电路。该电路中CMOS器件占97%，而BJT器件只占3%，BJT器件仅用于驱动大负载电容或放大小的电平摆幅信号。图4为算术逻辑单元（ALU）中四位一组的BiCMOS进位传输电路。图中Φ1为系统时钟，Φ2为预充时钟。由于BJT器件的存在，预充电平决定于BJT器件发射结压降，所以预充电平降低为0.8V上下。电平摆幅的减小有利于提高该电路的运算速度。32位字长的ALU要求有8个这样的进位传输电路，它的总传输延迟只有7.2ns，功耗也只有十几毫瓦。

（3） 通信用BiCMOS SRAM和ROM等

由于纯CMOS工艺无法生产出通信专用的高速度、大负载驱动能力的SRAM和只读存储器（ROM）芯片，而BiCMOS SRAM和ROM芯片拥有与CMOS SRAM和ROM较为接近的集成度、功耗和更高的速度，故先进的BiCMOS技术给SRAM和ROM产品的速度、容量和功耗等性能指标的调和、折衷和互补提供了回旋余地。现以BiCMOS SRAM为例，介绍图5所示的设计方案。它的主体存储矩阵用P阱中专门设计的BiCMOS存储单元组成，所设计的6管BiCMOS存储单元如图6所示，制作这种BiCMOS存储矩阵的模块区与CMOS的大致相同或略高；而图5中的地址译码器、字线/位线驱动器和读写控制电路及灵敏放大器等则可用BiCMOS电路。与全CMOS SRAM相比，本文提出的BiCMOS SRAM在低压（VDD=3.3 V）下，其存储单元存取速度提高了接近3倍，读/写一次仅需时6~8 ns，而且其备用单元功耗约为45.2nW/bit，而实用单元功耗也只有6.89μW/bit，均为较低的存储单元功耗水平。这一结果充分表明了新的BiCMOS SRAM电路结构是通信用高速、低压SRAM中较为理想的一种设计方案。

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)

双极-CMOS集成电路(BiCMOS)

同理，该设计思路同样适用于ROM和可编程逻辑器件（PLD）的字线/位线驱动器、改写电路和读控制电路以及其它通信ASIC芯片的存储系统中。

（4） 通信模/数混合电路的应用

用BiCMOS工艺可以将模拟和数字电路集成在同一块芯片上。当然芯片上大部分面积是有数字信号处理功能的CMOS单元电路，而剩下的芯片面积（约占15%～20%）用来做模拟电路单元以及芯片与外界模拟世界的接口电路。这些模拟电路单元包括I/O（包含电阻和NPN型BJT器件）、用BJT器件制作的运算放大器、参考电压和电流源、锁存比较器和NPN型BJT器件组成的模拟电路（例如直接用来驱动LED的电路）等。这种专用芯片可以用来做SDR系统的ADC和DAC、接/发射机的模/数混合电路以及其它通信系统应用场合。

因为MOS管的阈值电压UTH对工艺过程和器件尺寸非常敏感，而BJT器件的开启电压UBE比UTH更容易精确控制，所以BJT器件更容易得到性能良好的匹配对管。这种优良匹配对管的双极型集成运算放大器的补偿电压比MOS运放小一个数量级。BiCMOS运算放大器具有双极型电路部分的低输入补偿电压和高增益，以及CMOS电路部分的低功耗和高集成度。这种强强联合的先进工艺，亦被用于软件无线电（SDR）系统中的高速、低功耗A/D和D/A转换器。